離子注入機

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點資訊討論

離子注入機是高壓小型加速器中的一種,應用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。2021年,中國電科離子注入機亮相第十三屆中國國際航空航天博覽會。

離子注入機是高壓小型加速器中的一種,應用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。2021年,中國電科離子注入機亮相第十三屆中國國際航空航天博覽會。收起

查看更多
暫無相關內容,為您推薦以下內容

正在努力加載...