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知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：設(shè)備上常見(jiàn)的涂層有哪些？各有哪些作用？
什么是涂層？
涂層，是涂敷在晶圓，設(shè)備/配件上的表面的薄層，厚度從納米到幾微米不等，用于改變?cè)胁牧系男再|(zhì)，目的是為了保護(hù)、提升性能或?qū)崿F(xiàn)某種特定功能的作用。
涂層的種類(lèi)有哪些？
以設(shè)備/配件上的涂層為例，有：
| 涂層名稱(chēng) | 應(yīng)用區(qū)域 | 功能 |
| 等離子防蝕涂層（Y?O?, Al?O?） | 刻蝕腔體、shower head、ceramic part | 抗腐蝕、延長(zhǎng)壽命 |
| 防粘附涂層（PTFE、DLC） | 涂膠顯影設(shè)備、噴嘴 | 減少光刻膠殘留 |
| 導(dǎo)電/防靜電涂層（ITO） | 加熱平臺(tái)、靜電吸盤(pán) | 防止靜電積聚，保護(hù)晶圓 |
| 熱反射涂層 | 加熱器或窗口片 | 提升能效，避免熱量損失 |
| 抗劃傷/耐磨涂層 | robot arm、夾具 | 降低顆粒、避免晶圓損傷 |
涂層用什么方式來(lái)做的？
以設(shè)備/配件上的涂層為例，
1，化學(xué)氣相沉積（CVD），PVD
2、熱噴涂技術(shù)
3、離子鍍技術(shù)
4，電鍍，化學(xué)鍍
涂層需要考慮哪些性質(zhì)？
1，厚度2，附著力3，表面自由能4，與底層材料的粘接力5，耐等離子氣體能力6，金屬離子率等
我認(rèn)識(shí)不少做涂層的廠家，如有需求，可以私信我
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