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在政策與市場需求雙重推動之下，國內(nèi)半導(dǎo)體并購熱潮涌動，設(shè)備廠商也沒有缺席。繼北方華創(chuàng)宣布入股芯源微之后，國內(nèi)半導(dǎo)體并購再次傳出新動態(tài)，華海清科完成對芯崳公司收購，加速高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域布局。與此同時，復(fù)雜國際形勢影響下，半導(dǎo)體設(shè)備自主可控重要性不斷凸顯，除了并購之外，國內(nèi)廠商也積極提升技術(shù)，推出代表性產(chǎn)品，加速破局與突圍。
01、華海清科完成對芯崳公司收購，瞄準(zhǔn)離子注入設(shè)備產(chǎn)品布局
4月1日，華海清科發(fā)布公告稱，已完成對芯崳公司剩余82%股權(quán)的收購。至此，公司及其全資子公司華海清科（上海）半導(dǎo)體有限公司合計持有芯崳公司100%股權(quán)，芯崳公司正式成為華海清科的全資子公司。華海清科上海對芯崳公司持股78.6667%，華海清科股份有限公司持股21.3333%，合計持股100%。
華海清科公司及全資子公司華海清科上海合計使用自有資金不超過10.045億元人民幣完成此次交易，芯崳公司已完成全部股權(quán)轉(zhuǎn)讓的工商變更手續(xù)，并取得中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)市場監(jiān)督管理局換發(fā)的《營業(yè)執(zhí)照》。
華海清科表示 ，本次收購是公司為落實“裝備+服務(wù)”平臺化發(fā)展戰(zhàn)略、拓展產(chǎn)品矩陣、加速集成電路離子注入設(shè)備產(chǎn)品布局的重要舉措。
資料顯示，華海清科是國內(nèi)高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商，主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，主要產(chǎn)品包括CMP裝備、大束流離子注入機(jī)、減薄拋光一體機(jī)、邊緣修整機(jī)、邊緣拋光機(jī)、刷片清洗機(jī)等。
芯崳公司注冊資本為1578.9474萬元人民幣，經(jīng)營范圍涵蓋半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造、電子專用設(shè)備制造等領(lǐng)域，該公司核心產(chǎn)品為低能大束流離子注入設(shè)備，主要用于集成電路制造。
業(yè)界指出，離子注入設(shè)備研發(fā)難度僅次于光刻機(jī)，由于技術(shù)復(fù)雜度高、驗證周期長的特點，長期以來被國外大廠壟斷，國產(chǎn)化率極低，國內(nèi)僅少數(shù)公司有所布局，未來發(fā)展戰(zhàn)略意義重大。
02、北方華創(chuàng)再受讓芯源微8.41%股份，有望成第一大股東
近期，北方華創(chuàng)和芯源微同步發(fā)布公告。芯源微公告顯示，持股公司5%以上股份的股東沈陽中科天盛自動化技術(shù)有限公司（以下簡稱“中科天盛”），通過公開征集轉(zhuǎn)讓的方式協(xié)議轉(zhuǎn)讓其持有的公司股份1690萬股，占公司總股本的8.41%。
北方華創(chuàng)公告表示，經(jīng)中科天盛組織的評審委員會評審，北方華創(chuàng)符合本次公開征集轉(zhuǎn)讓的受讓方資格條件，經(jīng)中科天盛內(nèi)部決策，確定北方華創(chuàng)為本次公開征集受讓方。3月31日，雙方簽署了《股份轉(zhuǎn)讓協(xié)議》。此次芯源微股份的交易價格為85.71元/股，交易總價款為14.48億元。
除了競買部分股份外，北方華創(chuàng)于3月10日與沈陽先進(jìn)制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（以下簡稱“先進(jìn)制造”）簽署了股份轉(zhuǎn)讓協(xié)議，北方華創(chuàng)擬受讓先進(jìn)制造持有的芯源微9.49%股份，合計1906.49萬股。受讓價格為88.48元/股，交易金額為16.87億元，該協(xié)議受讓尚在推進(jìn)過程中。芯源微表示，如兩次協(xié)議受讓均過戶完成，則北方華創(chuàng)對公司的持股比例將達(dá)到17.9%，北方華創(chuàng)將成為公司第一大股東。
芯源微主要從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)，是國內(nèi)領(lǐng)先的高端半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)，產(chǎn)品包括涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、單片清洗機(jī)等。此前，北方華創(chuàng)表示，公司半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域主要產(chǎn)品包括刻蝕、薄膜沉積、爐管、清洗、快速退火和晶體生長等核心工藝裝備，芯源微的主要產(chǎn)品包括涂膠顯影設(shè)備等核心工藝裝備。雙方同屬集成電路裝備行業(yè)，但產(chǎn)品布局有所不同，具有互補(bǔ)性，有利于雙方協(xié)同效應(yīng)的發(fā)揮。
03、半導(dǎo)體設(shè)備新產(chǎn)品齊發(fā)，國產(chǎn)廠商秀“肌肉”
在剛剛結(jié)束的SEMICON China 2025展會上，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商新品涌現(xiàn)，技術(shù)實力引發(fā)極大關(guān)注。
北方華創(chuàng)發(fā)布了首款離子注入機(jī)Sirius MC 313，進(jìn)軍離子注入設(shè)備市場，同時其還發(fā)布了首款12英寸電鍍設(shè)備（ECP）——Ausip T830，專為硅通孔（TSV）銅填充設(shè)計，主要應(yīng)用于2.5D/3D先進(jìn)封裝領(lǐng)域。
華海清科攜全系列先進(jìn)半導(dǎo)體裝備及工藝集成解決方案亮相，其中，Universal-H300采用創(chuàng)新拋光系統(tǒng)架構(gòu)，是集先進(jìn)拋光工藝、高效率、高穩(wěn)定性于一體的12英寸CMP裝備；iPUMA-LE大束流離子注入機(jī)運(yùn)用先進(jìn)束流爬坡技術(shù)，集成了磁場和電場模塊，搭載精準(zhǔn)的量測技術(shù)，具有優(yōu)秀的離子篩選能力和精準(zhǔn)度。
中微公司發(fā)布其主研發(fā)的12英寸晶圓邊緣刻蝕設(shè)備Primo Halona?，實現(xiàn)了在等離子體刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的又一次突破創(chuàng)新。
拓荊科技發(fā)布ALD系列、3D-IC及先進(jìn)封裝系列，CVD系列新品。
東方晶源發(fā)布最新一代DR-SEM r655產(chǎn)品將搭載全新的高性能電子槍和光學(xué)檢測模組。
國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商不斷實現(xiàn)技術(shù)提升，展示新產(chǎn)品，這不僅反映出當(dāng)前受部分需求推動，設(shè)備市場呈現(xiàn)強(qiáng)勁發(fā)展的趨勢，也反映出在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭白熱化的當(dāng)下，國內(nèi)廠商順應(yīng)變化、加強(qiáng)技術(shù)攻堅、逐步破局的能力，未來前景值得期待。
