146
北方華創(chuàng)財報顯示，2019 年營收突破 40 億，相較 2018 年成長 22%，是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備上市公司中增幅最高的。2019 年實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤 3.09 億元，較 2018 年專長 32%。2019 年公司營收逐季增長，第四季營收高達 12 億元，占全年營收的 32.6%。
北方華創(chuàng)主要產(chǎn)品為電子工藝裝備和電子元器件，是國內(nèi)主流高端電子工藝裝備供應(yīng)商，也是重要的高精密、高可靠電子元器件生產(chǎn)基地。高端電子工藝裝備主要包括半導(dǎo)體裝備、真空裝備和鋰電裝備，廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體照明、功率器件、微機電系統(tǒng)、先進封裝、光伏、新型顯示、真空電子、新材料、鋰離子電池等領(lǐng)域。
由于涉及所限，本文僅談?wù)劙雽?dǎo)體裝備的情況。
財報指出，國內(nèi)集成電路生產(chǎn)線新建及擴產(chǎn)項目投資較前幾年有較大幅度增加，先進存儲器、新型傳感器件、功率器件、先進封裝等產(chǎn)線投資尤為強勁，給國內(nèi)集成電路工藝裝備產(chǎn)業(yè)帶來千載難逢的發(fā)展機遇；光伏行業(yè)投資保持持續(xù)增長的趨勢，龍頭企業(yè)設(shè)備投資擴產(chǎn)依然強勁；LED 芯片行業(yè)產(chǎn)線擴產(chǎn)投資較前幾年有所放緩，但對 Mini/Micro LED 技術(shù)升級改造的意愿強烈；新型顯示行業(yè)國產(chǎn) OLED 面板產(chǎn)線已經(jīng)進入量產(chǎn)階段，設(shè)備投資保持平穩(wěn)態(tài)勢；隨著 5G 通訊興起，SiC、GaN 等第三代半導(dǎo)體器件開始獲得廣泛應(yīng)用，對Ⅲ-Ⅴ族晶體設(shè)備及工藝設(shè)備的投資需求持續(xù)增強。而隨著公司持續(xù)高強度的技術(shù)研發(fā)投入，半導(dǎo)體工藝裝備產(chǎn)品日趨成熟，市場占有率在不斷提升，受到行業(yè)龍頭客戶的廣泛信賴。
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司是北方華創(chuàng)旗下專營半導(dǎo)體設(shè)備的子公司，2019 年營收為 25.93 億元，較 2018 年增長 30%，占公司總營收的 64%；凈利潤為 7771 萬元，較 2018 年下滑 18%，占公司總利潤的 21%；凈利潤率僅僅 3%，較 2018 年下降 1.74 個百分點。
國內(nèi) FAB 建設(shè)情況
而 2020 年將是國產(chǎn)存儲芯片的關(guān)鍵一年。長鑫存儲的產(chǎn)品已經(jīng)在多個頭部企業(yè)通過驗證，今年月產(chǎn)能將要實現(xiàn)產(chǎn)能翻倍，有可望達到 5 萬片；長江存儲的 128 層 3D NAND 已經(jīng) 128 層 QLC 3D NAND 閃存（X2-6070）研發(fā)成功，并已在多家控制器廠商 SSD 等終端存儲產(chǎn)品上通過驗證，產(chǎn)能今年也有望達 5 萬片。存儲芯片產(chǎn)能擴張驅(qū)動國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備進入一輪小高潮。
邏輯制程獲得突破，設(shè)備開支增加。中芯國際在 2019 年三季度實現(xiàn) 14 納米量產(chǎn)，同時 12 納米已經(jīng)客戶導(dǎo)入；N+1 代工藝也要開始風(fēng)險試產(chǎn)。按照規(guī)劃，今年將提升月產(chǎn)能至 1.5 萬片，未來將建成月產(chǎn)能 7 萬片先進生產(chǎn)線。華虹集團 14 納米工藝于 2020 年 1 月全線貫通，28 納米（28LP/28HK/28HKC+）均實現(xiàn)量產(chǎn)。先進制程的突破，中芯國際和華虹集團將在未來三到五年大幅擴大資本支出。
功率半導(dǎo)體產(chǎn)線今年迎來擴張浪潮。華虹無錫 12 英寸今年將擴產(chǎn)，士蘭微廈門 12 英寸工廠今年將投產(chǎn)，華潤微重慶 12 英寸項目將啟動，芯恩 8 英寸將投產(chǎn)，海芯、富芯項目已經(jīng)啟動，功率半導(dǎo)體生產(chǎn)線在未來五年內(nèi)將帶來超過 500 億元設(shè)備需求。
MEMS 產(chǎn)線方面，今年賽萊克斯將有望投產(chǎn)，還有兩條新 8 英寸 MEMS 產(chǎn)線啟動，也將極大帶動需求。
寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)線今年項目密集開工，下半年和明后兩年將是設(shè)備的進入高潮期。
還有先進封裝產(chǎn)能的擴產(chǎn)和啟動，都將為國產(chǎn)設(shè)備開啟大門。
北方華創(chuàng)的半導(dǎo)體裝備涉及刻蝕機、PVD、CVD、清洗機、爐管五大類別?？涛g機、PVD 設(shè)備、單片退火設(shè)備、清洗設(shè)備、立式爐等在 65-28nm 工藝產(chǎn)線上已實現(xiàn)量產(chǎn)交貨；應(yīng)用于 14nm 先進制程的等離子硅刻蝕機、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、單片退火系統(tǒng)、LPCVD 已正式進入集成電路主流代工廠。
具體來說，在刻蝕機領(lǐng)域，北方華創(chuàng)自主研發(fā)了國內(nèi)首臺應(yīng)用于 14nm 制程的等離子硅刻蝕機，已經(jīng)交付客戶量產(chǎn)生產(chǎn)線；PVD 領(lǐng)域，在濺射源、等離子產(chǎn)生與控制等關(guān)鍵技術(shù)取得突破，其中 Hardmask PVD 設(shè)備應(yīng)用于 28nm 制程，已成為國內(nèi)主流芯片代工廠的 Baseline 設(shè)備，銅互連 PVD 也正在多家客戶生產(chǎn)線驗證；CVD 領(lǐng)域，已完成 PECVD、APCVD、LPCVD、ALD 等設(shè)備的開發(fā)，產(chǎn)品線豐富，其中應(yīng)用于太陽能光伏制造的 PECVD 設(shè)備已實現(xiàn)進口替代，臥式 LPCVD 也成功應(yīng)用于半導(dǎo)體級碳納米管生長；爐管領(lǐng)域，公司包括 HORIS/THEORIS 等系列氧化擴散設(shè)備，以及退火設(shè)備。
作為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)，北方華創(chuàng)已經(jīng)有包括刻蝕機、PVD、CVD、外延設(shè)備、濕法清洗、爐管等在內(nèi)的 30 多種成熟設(shè)備在國內(nèi)集成電路生產(chǎn)線上量產(chǎn)使用。
半導(dǎo)體設(shè)備是實現(xiàn)集成電路技術(shù)進步的關(guān)鍵。而且半導(dǎo)體設(shè)備是晶圓制造廠的最大投資項，約占整體投資總額的 60-70%。芯思想研究院數(shù)據(jù)顯示，國內(nèi)在建的 15 個 Fab 投資總計將超過 5000 億元，未來 5 年將會帶來超過 3000 億元設(shè)備需求。
北方華創(chuàng) IC 裝備有刻蝕機、PVD、ALD、爐管及清洗機，占產(chǎn)線設(shè)備總投資的比例分別為 22%、5%、3%、5%和 5%，綜合來看公司 IC 裝備覆蓋產(chǎn)線設(shè)備投資額的 40%。如此算來，國內(nèi)市場在未來五年釋放給北方華創(chuàng)的市場空間將高達 1200 億。
空間雖大，但也要北方華創(chuàng)靜下心來，與國內(nèi)晶圓制造企業(yè)攜手開發(fā)，共創(chuàng)中國半導(dǎo)體的未來。
