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張通社 zhangtongshe.com
以技術為矛、以產業(yè)為盾。
近日，廣東星空科技裝備有限公司（以下簡稱“智慧星空”）宣布完成超8億元戰(zhàn)略融資。本次融資由浦東科創(chuàng)集團及海望資本領投，國投（廣東）科技成果轉化基金等多家機構跟投。本輪融資后，其注冊資本從1.97億元增至2.94億元，增幅達49%，創(chuàng)下國內半導體裝備領域年度單筆融資新高。其中，浦東科創(chuàng)集團及旗下基金海望資本出資近3億元。
據(jù)企查查顯示，智慧星空2021年成立于廣州，同年在上海浦東成立了智慧星空（上海）工程技術有限公司，創(chuàng)始人賀榮明是中國光刻機之父。他曾任職上海微電子裝備有限公司（又稱“SMEE”），帶領團隊造出國內首臺光刻機；完成歷史使命后，他再度創(chuàng)業(yè)，聚焦半導體器件專用設備、精密制造裝備領域。
隨著智慧星空技術研發(fā)創(chuàng)新，市場快速布局，公司的產業(yè)化進程也在加速。去年，智慧星空總部及高端裝備產業(yè)化基地項目在浦東落地，成為去年浦東10個重大科技產業(yè)項目之一。在吸金能力上，集聚騰訊投資、海望資本、浦東科創(chuàng)集團、國投創(chuàng)業(yè)、中信金石等知名投資機構，陣容豪華。
中國光刻機之父二次創(chuàng)業(yè)，曾造出國內首臺光刻機
在創(chuàng)立智慧星空之前，賀榮明在半導體裝備行業(yè)就頗負盛名。
1985年，賀榮明畢業(yè)于同濟大學機械工程管理系。80年代的大學生，身上有著天然的責任感和報國情懷，他也不例外。畢業(yè)后，他先是進入原上海機電工業(yè)管理局，從事國外技術的引進工作 ，后又進入上海電氣（集團）總公司（以下簡稱“上海電氣”）。2002年，時任上海電氣執(zhí)行副總裁的他受上級委派，在浦東張江組建上海微電子裝備有限公司，開啟了在半導體領域的創(chuàng)業(yè)之路。
在賀榮明的帶領下，一批年輕科技人員集聚到張江，開始了“造中國人自己光刻機”的歷程。彼時，國內的半導體行業(yè)相對落后，更不必說造光刻機這種高技術壁壘裝備，無論是專業(yè)人員還是配套的零件供應鏈，都讓賀榮明無從下手。
為實現(xiàn)核心技術自主可控的研發(fā)目標，一方面，賀榮明深入研究國際大型復雜工程項目的管理條例，將先進經驗與光刻機的研發(fā)結合，堅持用產品化、工程化的方式進行研發(fā)；另一方面，他重視創(chuàng)新，有效運用創(chuàng)新實踐解決多項實際問題。
時間來到2007年，經過賀榮明及其團隊多年努力，首臺國產光刻機成功曝光；2009年，自主設計、制造和集成的國內首臺100納米投影光刻機樣機研制取得成功，使國內高端光刻機的水平有了重大突破，并為國家02科技重大專項高端光刻機項目的持續(xù)實施奠定了良好基礎；2010年，推出先進封裝光刻機，國內市場占有率超80%，同時占領了33%的國際市場。在全世界為數(shù)不多的光刻機廠商名單中，第一次出現(xiàn)了中國企業(yè)名字：SMEE，并成功進入蘋果供應鏈。
2021年，功勛卓著的他選擇進行人生第二次創(chuàng)業(yè)，聚焦半導體器件專用設備、精密制造裝備領域，創(chuàng)立了智慧星空。
聚焦半導體器件專用設備、精密制造裝備領域，產品填補國產高端測試裝備空白
作為國產光刻機的核心操盤手，賀榮明的第二次創(chuàng)業(yè)仍聚焦于“國之重器”，將在光刻機研發(fā)中積累的精密機械、運動控制技術延伸至半導體檢測、封裝設備。
智慧星空由國內外長期從事大型裝備與儀器設計、開發(fā)、集成及銷售的高層次人才團隊發(fā)起組建，以精密機械、精密光電、精密運動、精密控制以及復雜軟件為核心技術，研制半導體、泛半導體、精密制造、新能源、生物醫(yī)藥等領域的創(chuàng)新裝備。
目前，智慧星空的產品主要有光刻設備、自動鍵合設備、納米壓印設備、量測設備等半導體重要設備，填補國產高端測試裝備空白。
其中，在光刻機設備上，智慧星空自主研發(fā)創(chuàng)新型整面曝光機，適用于高端顯示、封裝基板、先進封裝等領域的Micro-LED大面積曝光、封裝基板大面積曝光和扇出大芯片曝光。
智慧星空的納米壓印設備具備自動對焦、自動壓印能力，可應用于玻璃母模、扇出壓印、微透鏡陣列、光波導鏡片、MEMS等領域。
由智慧星空自主研發(fā)的iCB系列自動芯片鍵合設備與iAB系列自動晶圓鍵合設備，可實現(xiàn)芯片與芯片（晶圓）、晶圓與晶圓鍵合。iCB系列產品適用于紅外傳感器、MicroLED、Chiplet；iAB系列產品則適用于晶圓級MEMS封裝鍵合、3D IC鍵合、CIS封裝鍵合等應用。
在量測設備上，智慧星空自主研發(fā)的i3D系列非接觸式光學面形檢測設備與iFM系列芯片位置測量設備，可實現(xiàn)旋轉對稱光學元件3D形貌的超精密、高速測量與高精度樣品圖案位置信息的測量。i3D適用于透明與非透明、光滑與粗糙等多種表面類型的檢測分析；iFM可應用于測量重構片位置、光罩圖案位置等。
可以預見，隨著國內半導體行業(yè)進入高速發(fā)展期，依托在光刻、鍵合、量測及納米壓印四大產品線的產品矩陣，智慧星空的業(yè)務將迎來快速發(fā)展。
投資6.5億元落子康橋，成為浦東10個重大科技產業(yè)項目之一
公開信息顯示，智慧星空近日完成融資金額合計超8億元，其中，領投方浦東科創(chuàng)集團及海望資本聯(lián)合出資近3億元，在總投資額中占比近三分之一。
作為上海地方國資平臺的浦東科創(chuàng)集團，為何會選擇投資位于廣州的智慧星空？這需回溯至智慧星空創(chuàng)立前的淵源——早在企業(yè)籌備階段，創(chuàng)始人賀榮明任職上海微電子董事長期間，浦東科創(chuàng)集團就已對其技術背景和行業(yè)洞察保持持續(xù)關注，并建立了良好的溝通渠道。
在賀榮明創(chuàng)立智慧星空沒多久后，企業(yè)便面臨產能擴張與業(yè)務整合的迫切需求，亟需匹配半導體設備生產的專業(yè)化工業(yè)用地。正當企業(yè)為拿地問題焦灼之時，浦東科創(chuàng)集團主動介入，招引企業(yè)在浦東落地，并幫助企業(yè)申請相關政策。
從土地選址、政策申報到產線建設，浦東科創(chuàng)集團全程參與資源對接，助力智慧星空快速完成上海浦東基地的產能布局。2024年12月，浦東新區(qū)重大產業(yè)及配套項目開工儀式盛大舉行，智慧星空便是十個重大科技產業(yè)項目之一。值得一提的是，開工儀式就在智慧星空總部及高端裝備產業(yè)化基地項目建設工地上舉行，足以見得浦東對該項目的重視程度。
開工儀式現(xiàn)場，賀榮明上臺發(fā)言
據(jù)了解，智慧星空總部及高端裝備產業(yè)化基地建設項目位于康橋工業(yè)區(qū)東區(qū)H05C-01地塊，占地面積約43畝，總投資約6.5億元，總建筑面積約6.7萬平方米。項目主要發(fā)展兩大類產品——人工智能芯片關鍵工藝高端裝備、生命科學先進科學儀器和研發(fā)設備，投產后預計可實現(xiàn)工業(yè)產值10億元。
隨著其浦東基地的全面投產，智慧星空將成為推動中國半導體中后道設備自主化的核心力量。
未來，智慧星空這家從上海微電子“基因鏈”中生長出的創(chuàng)新企業(yè)，將以技術為矛、以產業(yè)為盾，向著成為全球半導體設備領域的關鍵參與者加速邁進。
文字｜張文琪 ? ? ?編輯｜劉程星
