什么是 PRS（Process Release Standard）？

PRS（Process Release Standard） 是指工藝放行的標準，用于判斷某個工藝步驟是否滿足生產(chǎn)要求、是否可以進入下一個流程。它是一套明確的準則，通常涉及工藝形貌、關鍵參數(shù)、測量指標等。

PRS 的作用

PRS 的核心目標是確保工藝的每一步都達標，避免缺陷傳遞到后續(xù)步驟，從而保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

類比解釋

就像考試的及格線：

每個工藝步驟完成后，需要達到一定的“分數(shù)”才能通過（即符合 PRS 標準）。

如果低于標準，就像考試不及格，需要重新修正或者返工。

PRS 的關鍵要素

形貌檢查：

檢查晶圓或產(chǎn)品表面的外觀形態(tài)是否符合預期，例如是否有劃痕、顆粒、邊緣缺陷等。

類比：就像藝術品完成后要檢查表面是否光滑無裂痕。

工藝參數(shù)：

核心指標如尺寸（CD）、厚度、均勻性是否在規(guī)格范圍內(nèi)。

類比：就像裁縫要確認衣服的每一個尺寸都符合客戶需求。

功能驗證：

某些情況下，需要進行性能測試（如電氣特性）以確保達標。

類比：就像產(chǎn)品的最終驗收，測試它是否能正常工作。

PRS 的執(zhí)行流程

定義標準：

預先明確每個工藝步驟的放行要求（如形貌、尺寸范圍）。

檢測與確認：

使用設備（如顯微鏡、CD-SEM）或工具對工藝結果進行檢查。

決定放行：

如果符合 PRS 標準，允許進入下一步工藝；不符合則需返工或停產(chǎn)分析。

總結。PRS 是工藝的質(zhì)量關卡，就像每道門的“門票”，通過后才能繼續(xù)往前。它確保每一步工藝結果都符合要求，避免問題累積，最終影響產(chǎn)品質(zhì)量。