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張通社 zhangtongshe.com
在行業(yè)經(jīng)歷周期低谷的當下，張江科學城這家半導體設備公司的成績單依然很閃耀：據(jù)中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）年報顯示，2023年前三季度公司實現(xiàn)營業(yè)收入40.41億元，同比增長32.8%；實現(xiàn)歸母凈利潤11.6億元，同比增長46.27%。
并且，更為不易的是，在過去的十年，中微公司持續(xù)保持著高速增長：從2012年到2022年，十年平均年營業(yè)收入一直保持高于35%的增長率。
中微公司由尹志堯創(chuàng)立，總部位于上海浦東。經(jīng)過19年的長跑，在2022年全球刻蝕設備市場排名中，中微公司排名第四位，前三位是三家老牌海外巨頭。
由于刻蝕機門檻高、技術難度大，作為后起之秀的中微公司實屬不易。“5納米制造工藝的芯片，相當于人的頭發(fā)絲直徑差不多一萬三千分之一那么小的尺度?？涛g機就是在這樣的尺度上進行雕刻?！?/strong>中微公司創(chuàng)始人、董事長兼總經(jīng)理尹志堯這樣向媒體形容刻蝕機的用途，表達了其技術的難度和重要性。
在巨頭的夾縫中堅持創(chuàng)新，實現(xiàn)從65納米到5納米工藝全覆蓋
時光回到2000年前后，尹志堯已是一位在硅谷工作近20年、擁有豐富的半導體設備研發(fā)經(jīng)驗領域的資深專家。當他看到國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的歷史機遇，毅然選擇回國并主導創(chuàng)立了中微公司，從零開始自主研發(fā)刻蝕機設備。
什么是刻蝕機？與光刻機有何區(qū)別？半導體芯片制造工藝的復雜程度極高，涉及數(shù)千道工序和大量專業(yè)設備。簡單來說，光刻機的用途是將芯片設計電路結構通過光線投射到半導體晶圓上，而刻蝕機則通過化學或物理方法去除晶圓表面不必要的部分，實現(xiàn)微觀雕刻。如果將光刻機比作木匠用墨線在木板上畫線，那刻蝕機就相當于在木板上按照墨線的痕跡雕花。
因此，也可以說，刻蝕機是僅次于光刻機的重要半導體設備，復雜難度絲毫不亞于光刻機。
據(jù)SEMI 2021年數(shù)據(jù)顯示，總額達到875億美元規(guī)模的晶圓制造設備市場中，刻蝕機的占比約為20%。
刻蝕機的重要性，無需贅言。
20年前的張江，掀起了一波海外人才歸國創(chuàng)業(yè)的高潮，其中就包括尹志堯等中國半導體行業(yè)的“開拓者”。在行業(yè)發(fā)展和政策支持的大背景下，中芯國際、華虹半導體以及中微公司等中國半導體頭部企業(yè)也相繼在這一時期在張江成立。
剛成立之際，僅用3年時間，中微公司就研制成功中國第一臺CCP（電容性耦合的等離子體源）刻蝕機，實現(xiàn)了零的突破，填補了國內(nèi)的空白。
面對體量、研發(fā)投入、市場認知度都相差甚遠的海外老牌巨頭，中微公司如何打破如此不對等的競爭局面？
尹志堯特別強調(diào)了“產(chǎn)品布局”和“技術創(chuàng)新”。
首先，在產(chǎn)品的合理布局，中微公司主要聚焦在半導體芯片制造設備行業(yè)中最關鍵的設備上。所從事的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是集成電路前道設備市場最大的兩種設備，特別是等離子體刻蝕設備是制程步驟最多、工藝過程開發(fā)難度最高、市場增長最快的設備，占半導體前道設備總市場的約22%。
同時，在產(chǎn)品開發(fā)、設計和制造過程中，中微公司堅持“創(chuàng)新”和“差異化”，。尹志堯表示，中微公司不走海外巨頭老路，而是選擇全新的技術路徑和方向，從零開始實現(xiàn)技術突破，走上一條獨立自主發(fā)展道路。
例如，在CCP電容性高能等離子體刻蝕設備的研發(fā)過程中，開創(chuàng)性地推出了甚高頻去耦合等離子體刻蝕技術；在ICP電感性低能等離子體源的開發(fā)過程中，設計了新型電感線圈架構，以減少電容性耦合引起的不良作用……
后來，中微公司運用這種思路，陸續(xù)開發(fā)了關鍵設備品類：導體化學薄膜沉積設備LPCVD（低壓化學氣相沉積）和外延設備EPI。以及通過投資布局了集成電路第四大設備市場——光學檢測設備。
成立至今，中微公司自研的刻蝕機產(chǎn)品完成了從65納米到5納米工藝的全面覆蓋，與全球高精度光刻機的匹配，滿足行業(yè)和客戶對先進制程芯片不斷提升的需求，以此成功打入海外市場。
戰(zhàn)略、組織、人才三板斧聯(lián)動，從浦東崛起，海外市場占到75%
技術和產(chǎn)品有賴于人才和組織來實現(xiàn)，中微公司的戰(zhàn)略、組織和人才三板斧是如何聯(lián)動的？在2023浦東國際人才港論壇上，中微公司集團副總裁何奕做了主題為《企業(yè)國際競爭下的人才全球化發(fā)展及應對策略》的演講，或許能從中總結一二。
何奕表示，中微公司在組織治理上尤其關注兩點：第一，盡最大的努力發(fā)揮每個個體的積極性；第二，盡最大的努力降低內(nèi)耗。在人才激勵、考核、培養(yǎng)上，中微公司都有自己的特點。
在激勵措施上，在中微公司的組織文化中，堅信每個人都有價值，到今天為止，公司依然是全員持股。“每年股票的計劃是全員覆蓋的，我們覆蓋到司機、前臺、秘書?！焙无戎v道。
在考核上，中微公司尤其看重管理者的擔當，這是中微公司的管理特色?！安灰衙^指向兵，這個人不好為什么不找領導的問題？作為管理者，責任是要發(fā)揮每個人最大的積極性，而不是說員工不好，然后把他推給HR，讓HR來采取措施?！焙无缺硎尽?/p>
而在晉升機制上，卻不只是領導說了算，而是要得到周圍同事的認可，包括上級、下級和協(xié)同崗位的同事等。
此外，在組織文化中，中微公司注重搭建與海外溝通的環(huán)境?！拔覀兊膯T工高頻次跟海外員工溝通的環(huán)境搭起來了，自然而然就構建了全球化的模型。”何奕分享說。
在人才培養(yǎng)方面，中微公司注重內(nèi)部培養(yǎng)。“過去幾年，我們持續(xù)發(fā)力招聘應屆生，今年大概收到三四千份簡歷，最后招聘120-150個，大概90%是技術崗位，70%-80%都是博士生，主要學科是物理、化學、材料、機械這些非常基礎的學科，中微公司有自己的人才密碼?！?/strong>
據(jù)中微公司官網(wǎng)顯示，目前在日本、韓國、北美、中國臺灣等地都建立了公司?！白寚H化人才愿意加入中微（公司），以及讓他能在這個地方發(fā)展起來，這是背后的邏輯更重要一點?！?/p>
何奕分享說，中微公司從剛成立開始就是著眼全球發(fā)展?！百u設備，不像快消品，很多公司成立、投入十年，還沒有太多回報，這個時候就看公司的戰(zhàn)略定力在什么地方。我們在韓國、日本、美國、新加坡、歐洲都有辦公室，有些地方終于看到了一些突破。我們很高興，在全球制裁中國半導體設備的時候，（中微公司）反向出口到海外了，證明我們自己的實力，但是這個過程當中，真的需要公司有戰(zhàn)略定力?！?/p>
據(jù)何奕分享，海外市場已成為中微公司另一個主要市場?！澳壳凹呻娐吩O備市場中國大陸占25%，海外市場占75%?！?/p>
布局三維發(fā)展戰(zhàn)略，外拓至泛半導體設備關鍵領域
尹志堯認為，對半導體設備企業(yè)來說，單一的產(chǎn)品、單一的產(chǎn)業(yè)布局，面對行業(yè)發(fā)展周期的波動，很難保證持續(xù)穩(wěn)定的發(fā)展，時刻有遭遇風險和危機的可能。“在公司規(guī)模小的時候，我們好似在海底游泳的魚，海面上的風浪起伏對我們影響不大，但現(xiàn)在當我們的市場份額越來越大，逐漸浮向海面，就會對這類波動更加敏感。”
因此，站在今天這個時間點上，尹志堯看重這幾個關鍵詞：高速、穩(wěn)定、健康、安全。
“其實，從1984年到2022年，全球芯片生產(chǎn)線的投資變化率一直呈現(xiàn)大起大伏的周期性?！币緢蚪榻B，為了減少企業(yè)發(fā)展的大起大落，中微公司已開啟“三維發(fā)展、有機生長、外延擴展”的道路。
憑借在微觀加工領域的硬核實力，中微公司除了在刻蝕機、薄膜機、檢測機等集成電路設備領域做大做強外，還拓展關注在太陽能電池、LED顯示和照明、傳感器等泛半導體設備關鍵領域的應用，并積極探索環(huán)境保護、大健康、企業(yè)網(wǎng)絡等戰(zhàn)略新興領域的發(fā)展機會。
“十幾年前，MOCVD設備是用來加工LED照明芯片的。”尹志堯說，經(jīng)過近20年的飛速發(fā)展，MOCVD成為了目前半導體化臺物材料制備的關鍵技術之一。中微公司提前分析研判，在進入該領域短短一年的時間內(nèi)，實現(xiàn)在全球MOCVD的市場占有率從5%迅速提升至70%，并迅速發(fā)展成為全球市占率第一的MOCVD設備供應商，提升了公司營運抗風險周期波動的能力。
為了保持高速、穩(wěn)定、健康、安全的發(fā)展，中微公司始終瞄準世界科技前沿，持續(xù)踐行三維發(fā)展戰(zhàn)略。尹志堯說，在規(guī)模和競爭力上公司都要成為國際一流的半導體設備和高科技領先企業(yè)。
文字：張大紅
編輯：楊悅鋮
校對：任甄妮
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