芯耀
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知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，點(diǎn)擊加入）里的學(xué)員問(wèn)：TGV用的玻璃有什么類型？各有什么差別？TGV的玻璃類型
一般有三種：無(wú)堿玻璃，?硼硅酸鹽玻璃，石英。
無(wú)堿玻璃
基于硅酸鹽玻璃，但去除了Na?、K?等堿金屬離子
主要成分：SiO? + Al?O? + B?O? + BaO 等
較脆，抗機(jī)械沖擊能力弱
硼硅酸鹽玻璃
SiO? + B?O? 為主，少量Na?O、K?O、Al?O?透明度高，適合激光打孔,是目前最廣泛使用的 TGV 材料
石英玻璃
幾乎為純SiO?（>99.9%），可分為天然石英熔融或合成熔融石英,性能極佳但難加工、成本高
三者性能應(yīng)用比較
| 特性/玻璃類型 | 無(wú)堿玻璃 | 硼硅酸鹽玻璃 | 石英玻璃 |
|---|---|---|---|
| SiO?含量 | 中高 | 中等 | 最高 |
| CTE（熱膨脹系數(shù)） | ~3.5–4.5 ppm/°C | ~3.3–3.8 ppm/°C | ~0.5 ppm/°C |
| 激光加工性 | 較好 | 很好 | 最難 |
| 介電性能 | 優(yōu) | 良 | 極優(yōu) |
| 價(jià)格 | 中等偏上 | 低 | 最貴 |
| 加工難度 | 中等 | 低 | 高 |
| 用途 | 高頻封裝、RDL | 常規(guī)封裝 | 高端光電、MEMS |
目前我們有cmp，光刻，鍍膜，鍵合，量檢測(cè)的技術(shù)群，如需進(jìn)群，請(qǐng)加Tom微，防失聯(lián)：
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