puddle式顯影有什么優(yōu)勢(shì)？

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問：顯影有幾種方式？puddle式的顯影是什么樣的？有什么優(yōu)勢(shì)？

顯影的三種主流方式？

一般分為puddle式，浸泡式，噴灑式顯影。

浸泡式：將整個(gè)晶圓完全浸入顯影液?？梢酝ㄟ^晃動(dòng)，攪拌等方式來提升顯影的均勻性和顯影速率。此方式多以手動(dòng)為主，常見于實(shí)驗(yàn)室。

噴灑式：將顯影液通過噴霧的方式均勻地噴灑到晶圓表面，下方的晶圓以一定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)的離心力，使新鮮顯影液不斷流經(jīng)整個(gè)晶圓表面。

puddle式：

1，顯影液噴灑在晶圓表面，晶圓緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)，使整個(gè)晶圓都覆蓋完全顯影液。

2，使光刻膠與顯影液反應(yīng)充分。

3，增加晶圓轉(zhuǎn)速，將晶圓表面的顯影液甩掉

4，重復(fù)步驟1，2，3，直至顯影反應(yīng)完全。

5，噴灑超純水，甩干

puddle顯影的優(yōu)勢(shì)？

1，減少顯影液浪費(fèi)。上文提到的浸泡式顯影，浪費(fèi)巨大。

2，適合厚膠顯影。具有很高的顯影效率和光刻膠圖形形貌垂直度。

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