“Fab Out”是半導體制造過程中的一個重要里程碑。為了幫助更好地理解這個概念,可以將其比喻為一部復雜電影的制作過程,直到最終影片從編輯室離開并準備好進行首映的階段。
1、Fab Out——“電影完成走出編輯室”
籌備與拍攝階段(前期制造工序):
在電影中,這對應于劇本準備、拍攝和錄制階段。在晶圓制造中,這個階段包括設計電路、準備原材料、進行晶圓切割等。
前期的光刻、蝕刻、摻雜等工藝,類似于拍攝過程中每個鏡頭、對話和場景的拍攝,都是為了達到最終產(chǎn)品所需的標準。
特殊效果與后期制作(中間關(guān)鍵工藝):
在電影中,后期制作和特效加入是為了讓影片更具觀賞性。這類似于在晶圓制造后期進行的復雜工藝步驟,如化學機械拋光(CMP)、膜層沉積和復雜的圖案化。
每一個步驟都是為了確保最終產(chǎn)品的性能和可靠性,保證其達到設計規(guī)格。
編輯與剪輯完成(制造完成):
這一步類似于電影編輯過程中逐幀剪輯調(diào)色,確保影片流暢且符合導演意圖。而在晶圓制造中,這對應于完成所有規(guī)定的工藝步驟,并且確保所有的處理都符合設計參數(shù)。
在這一階段,會進行嚴格的質(zhì)量控制和抽樣測試,以確保每一個晶圓片都沒有缺陷。
“影片完成,準備首映”(Fab Out):
最終,影片被打包好,離開了編輯室。對于晶圓,這個時刻被稱為Fab Out,意味著晶圓已經(jīng)完成了在FAB(制造廠)的所有工藝處理。
就像電影準備在首映前為觀眾展示一樣,晶圓此時準備進行最關(guān)鍵的測試,以評估其成功完成制造,并準備移交給下游測試和應用。
2、后續(xù)處理(WAT和CP測試)
WAT(Wafer Acceptance Test)——“試映前的排片”:
影片完成后,會進行內(nèi)部審查和小范圍試映,確保影片質(zhì)量。同樣,“Fab Out”后的第一個步驟就是進行晶圓接受測試(WAT),評估每個晶圓的基本電特性和外觀指標。
CP(Chip Probing)——“細致的影評與評分”:
在影片上映前,面對評論家的審視,同樣,每個芯片進行探針測試(CP),以檢測功能和性能,比如測試晶體管開關(guān)速度和集成電路功能。
這個步驟確保只有符合性能標準的芯片會進入下游組裝和封裝階段。
總結(jié)。通過電影制作為比喻,“Fab Out”基于復雜精細的流程在制造廠中完成了所有設計步驟,確保晶圓達到了物理和電氣特性要求。此時,晶圓相當于一個完成拍攝和后期制作的電影,準備經(jīng)過檢測與校對,進而公開展示或者部署到實用應用中。這個比喻有助于形象理解半導體制造過程中各個步驟的重要性,以及“Fab Out”作為整個過程中的一個關(guān)鍵點。
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