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知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：相對(duì)于連續(xù)波的電源模式，脈沖模式的優(yōu)勢(shì)有哪些？
什么是脈沖與連續(xù)波電源模式？
如上圖，第一個(gè)為CW，Continuous Wave,連續(xù)波。CW模式下，電源輸出是一個(gè)連續(xù)的波形，沒(méi)有斷斷續(xù)續(xù)的脈沖。第二個(gè)為PW，Pulsed Power，脈沖波。PW模式下，電源的輸出功率部分時(shí)間內(nèi)處于關(guān)閉狀態(tài)，部分時(shí)間屬于打開(kāi)狀態(tài)。
脈沖電源的特點(diǎn)？
1，間隔性工作，可以及時(shí)將熱量等散出，能夠使反應(yīng)物有時(shí)間運(yùn)輸?shù)?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E6%99%B6%E5%9C%86/">晶圓表面
2，輸出功率能夠加到很大，持續(xù)時(shí)間極短，能夠很精確地控制脈沖功率，頻率，時(shí)間等
使用脈沖模式的好處？
1，消除微負(fù)載效應(yīng)。在高深寬比的結(jié)構(gòu)刻蝕中，如深孔或深槽。較小尺寸的孔或槽刻蝕速率小于較大尺寸的孔或槽。如果使用CW模式，通過(guò)減少壓力，增大偏壓可以改善微負(fù)載效應(yīng)，但是改善的能力有限，而使用脈沖模式，可以大大改善微負(fù)載效應(yīng)。
2，減少晶圓表面損傷。如果在偏置電源上使用脈沖，可以減少等離子體攻擊晶圓的時(shí)間，進(jìn)而減少表面的損傷。我們特意制作了拜年的紅包封面，點(diǎn)擊領(lǐng)取：
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