半導體量/檢測光源：核心零部件+耗材

半導體量/檢測設(shè)備上游的核心零部件主要包括，運動與控制系統(tǒng)類、光學類、電氣類、機械加工件、機械標準件及其他部件。

光源屬于半導體量/檢測設(shè)備核心零部件，又有耗材屬性，壽命在幾百-幾千小時之間，“核心零部件+耗材”，構(gòu)成了這個細分領(lǐng)域的投資邏輯。

半導體量/檢測需要用到不同波長的光源，有白光源、單色光源和激光光源，針對不同的檢測材料、待測缺陷和雜質(zhì)，需要采用不同的光源。

隨著光刻技術(shù)的發(fā)展，工藝制程進入納米級，目前較先進的量測設(shè)備已使用DUV波段光源，能夠檢測小于14納米的缺陷，并實現(xiàn)0.003納米的膜厚測量重復性。

明場和暗場是晶圓檢測的兩個基本原理，明場探測反射光，暗場探測散射光。明場對照明光束物理特征、成像系統(tǒng)、信噪比等方面的要求更加嚴格，無圖形晶圓的缺陷檢測使用暗場系統(tǒng)，有圖形晶圓的缺陷檢測使用明場系統(tǒng)或是二者的結(jié)合。

國內(nèi)做半導體量/檢測設(shè)備公司已經(jīng)出現(xiàn)不少，精測電子、中科飛測、賽騰股份、上海睿勵、東方晶源、御微、優(yōu)睿譜、微崇、中安、法博思、埃芯、蓋澤、匠嶺為代表，但這些公司的光源核心零部件，主要還是依賴國外廠商。

半導體量/檢測光源的國際大廠包括美國相干公司、日本濱松光子。美國相干公司年收入規(guī)模為52億美元（約380億人民幣），日本濱松光子年收入規(guī)模為1700億日元（約83億人民幣）。注：兩個公司還有其它業(yè)務分支。

半導體量/檢測設(shè)備光源全球市場規(guī)模約為45億美元，含10億美元新增設(shè)備規(guī)模和35億美元零部件更新替換規(guī)模。

作者簡介：步日欣

創(chuàng)道硬科技創(chuàng)始人，北京郵電大學經(jīng)管學院特聘導師、中國生產(chǎn)力促進中心協(xié)會專家、天津市集成電路行業(yè)協(xié)會顧問、浙商證券研究院專家。電子工程本科、計算機碩士學位，具有證券從業(yè)資格、基金從業(yè)資格，先后就職于亞信咨詢、中科院賽新資本、東旭金控集團等，擁有IT研發(fā)、咨詢、投融資十五年以上經(jīng)驗，關(guān)注投資領(lǐng)域為半導體、智能制造、新能源等。