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  • 光刻工藝中g(shù)線、i線、DUV、EUV是什么意思？
    不同波長的光源各自對應(yīng)不同的技術(shù)節(jié)點(diǎn)和制造需求。從早期的 g線、i線到目前主流的 KrF、ArF 再到最尖端的 EUV，每一次升級(jí)都展現(xiàn)了更高分辨率和更先進(jìn)的工藝水平。隨著對器件尺寸不斷逼近物理極限，EUV及其后續(xù)升級(jí)版本將持續(xù)發(fā)展。
    光刻工藝中g(shù)線、i線、DUV、EUV是什么意思？
  • 半導(dǎo)體設(shè)備市場屢創(chuàng)新高，ASML揭秘背后四大增長動(dòng)力！
    近期，全球光刻機(jī)大廠ASML在“2024 Investor Day Meeting”（2024投資者日）活動(dòng)上，對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及未來發(fā)展趨勢進(jìn)行了分享，剖析了推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備市場的持續(xù)增長的四大關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)力：AI服務(wù)器市場的持續(xù)增長（對于先進(jìn)制程的需求）、成熟制程市場的持續(xù)擴(kuò)張、前端3D集成的趨勢、先進(jìn)封裝市場的旺盛需求。
    半導(dǎo)體設(shè)備市場屢創(chuàng)新高，ASML揭秘背后四大增長動(dòng)力！
  • 美國施壓之下，荷蘭將禁止ASML對在華高端DUV設(shè)備維護(hù)？
    8月29日消息，最新的業(yè)內(nèi)消息顯示，荷蘭政府計(jì)劃限制ASML在中國維修半導(dǎo)體設(shè)備的能力，這或?qū)τ谥袊嵘冗M(jìn)制程制造能力的努力造成打擊。據(jù)熟悉內(nèi)情的人士透露，在ASML某些在中國提供服務(wù)和備件的許可證于今年年底到期后，荷蘭首相迪克·肖夫政府很可能不再為其續(xù)期。這一決定預(yù)計(jì)將涉及該公司的高端深紫外光刻（DUV）設(shè)備。
    美國施壓之下，荷蘭將禁止ASML對在華高端DUV設(shè)備維護(hù)？
  • ASML的DUV光刻機(jī)型號(hào)匯總
    前兩期的文章中我們介紹了ASML的G線，i線，EUV光刻機(jī)的型號(hào)，見文章：ASML的光刻機(jī)型號(hào)匯總(上)ASML的EUV光刻機(jī)型號(hào)匯總。今天我們來介紹一下，ASML的DUV光刻機(jī)的型號(hào)。
    ASML的DUV光刻機(jī)型號(hào)匯總
  • 三大產(chǎn)品線全力升級(jí) 東方晶源引領(lǐng)國內(nèi)電子束量測檢測發(fā)展
    電子束量檢測是半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域的主要技術(shù)類型之一，在半導(dǎo)體制程不斷微縮，光學(xué)檢測對先進(jìn)工藝圖像識(shí)別的靈敏度逐漸減弱的情況下，發(fā)揮著越來越重要的作用。電子束量檢測設(shè)備對于檢測的精度、可適用性、穩(wěn)定性、吞吐量等要求很高，其研發(fā)和設(shè)計(jì)非常具有技術(shù)挑戰(zhàn)性。 作為布局該領(lǐng)域最早的國內(nèi)企業(yè)之一，東方晶源已先后成功推出電子束缺陷檢測設(shè)備EBI，關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備CD-SEM（12英寸和6&8英寸），電子束
    三大產(chǎn)品線全力升級(jí) 東方晶源引領(lǐng)國內(nèi)電子束量測檢測發(fā)展