ASML的DUV光刻機(jī)型號(hào)匯總

前兩期的文章中我們介紹了ASML的G線，i線，EUV光刻機(jī)的型號(hào)，見(jiàn)文章：ASML的光刻機(jī)型號(hào)匯總(上)；ASML的EUV光刻機(jī)型號(hào)匯總

今天我們來(lái)介紹一下，ASML的DUV光刻機(jī)的型號(hào)。

DUV是什么？

DUV（Deep Ultraviolet），深紫外光刻，是介于Vacuum UV（157nm，F(xiàn)2）與UV（365nm，i line）之間的光線，一般是指KrF(248nm),ArF(193nm)兩種波長(zhǎng)。而浸沒(méi)式光刻機(jī)則以ArF為主，浸沒(méi)式光刻機(jī)晶圓與透鏡之間引入高折射率的液體（如水），大大提高了光刻分辨率和焦深。

ASML的DUV是TWINSCAN NXT，XT系列產(chǎn)品。

NXT系列產(chǎn)品有：1965Ci，1980Di，1980Fi，2000i，2050i，2100i，因時(shí)間有限，大家可以去自行搜集其相關(guān)機(jī)臺(tái)型號(hào)，參數(shù)。

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