繼經(jīng)典邁克爾遜干涉后的零差式激光干涉技術(shù)的出現(xiàn)
零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種高精度測(cè)量技術(shù)。以下是對(duì)這一技術(shù)的詳細(xì)介紹:一、經(jīng)典邁克爾遜干涉原理邁克爾遜干涉儀是一種利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉的光學(xué)儀器,它是最著名的干涉儀之一,為光學(xué)干涉測(cè)量中各類干涉儀的原型。其原理主要是利用兩束相干光波在空間某點(diǎn)相遇時(shí)相互疊加,形成穩(wěn)定的明暗相間的干涉條紋,當(dāng)被測(cè)物體發(fā)生移動(dòng)時(shí),會(huì)引起干涉條紋的移動(dòng),從而可以測(cè)量物體的