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零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種高精度測量技術(shù)。以下是對這一技術(shù)的詳細(xì)介紹：
一、經(jīng)典邁克爾遜干涉原理
邁克爾遜干涉儀是一種利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉的光學(xué)儀器，它是最著名的干涉儀之一，為光學(xué)干涉測量中各類干涉儀的原型。其原理主要是利用兩束相干光波在空間某點(diǎn)相遇時(shí)相互疊加，形成穩(wěn)定的明暗相間的干涉條紋，當(dāng)被測物體發(fā)生移動(dòng)時(shí)，會(huì)引起干涉條紋的移動(dòng)，從而可以測量物體的微小位移。
二、零差式激光干涉技術(shù)的出現(xiàn)與發(fā)展
零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上，結(jié)合激光技術(shù)而發(fā)展起來的一種高精度測量技術(shù)。它采用穩(wěn)頻激光器發(fā)出的單色激光作為光源，通過干涉儀產(chǎn)生兩束相干光波，一束作為參考光波，另一束作為測量光波。當(dāng)測量光波的光程發(fā)生變化時(shí)，會(huì)引起干涉條紋的移動(dòng)，從而可以測量物體的位移或形變。
三、零差式激光干涉技術(shù)的特點(diǎn)
高精度：由于激光具有極好的單色性和相干性，因此零差式激光干涉技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)極高的測量精度。
非接觸式測量：該技術(shù)采用光學(xué)方法進(jìn)行測量，無需與被測物體直接接觸，避免了接觸式測量可能帶來的誤差和損傷。
動(dòng)態(tài)響應(yīng)快：激光干涉儀能夠?qū)崟r(shí)響應(yīng)被測物體的變化，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測量。
測量范圍廣：通過調(diào)整干涉儀的結(jié)構(gòu)和參數(shù)，可以適應(yīng)不同測量范圍的需求。
四、零差式激光干涉技術(shù)的應(yīng)用
零差式激光干涉技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，包括但不限于：
機(jī)床精度檢測與校準(zhǔn)：用于測量機(jī)床各軸線性運(yùn)動(dòng)的位移、角度等參數(shù)，幫助調(diào)試和校準(zhǔn)機(jī)床的加工精度。
精密加工工藝監(jiān)測：實(shí)時(shí)監(jiān)測機(jī)床在加工過程中工件表面的動(dòng)態(tài)位移和直線度等參數(shù)，評估加工質(zhì)量和穩(wěn)定性。
光學(xué)元件檢測：用于檢測透鏡、棱鏡等光學(xué)元件的形狀、曲率半徑等參數(shù)。
位移傳感器檢定：利用激光干涉原理制作的高精度位移傳感器，可用于各種位移測量場合。
五、總結(jié)
零差式激光干涉技術(shù)是在經(jīng)典邁克爾遜干涉原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種高精度測量技術(shù)。它采用激光作為光源，具有非接觸式測量、高精度、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床精度檢測、精密加工工藝監(jiān)測、光學(xué)元件檢測以及位移傳感器檢定等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。隨著激光技術(shù)的不斷發(fā)展和完善，零差式激光干涉技術(shù)將在更多領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。
TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀
一款可以“實(shí)時(shí)”動(dòng)態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀
1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題，實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實(shí)現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。
2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案。
3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測量。
實(shí)際案例
1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm
2，毫米級視野，實(shí)現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描
3，卓越的“高深寬比”測量能力，實(shí)現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。
