高精度晶圓劃片機(jī)切割解決方案
高精度晶圓劃片機(jī)切割解決方案 為實(shí)現(xiàn)高精度晶圓切割,需從設(shè)備精度、工藝穩(wěn)定性、智能化控制等多維度優(yōu)化,以下為關(guān)鍵實(shí)現(xiàn)路徑及技術(shù)支撐: 一、核心精度控制技術(shù) ?雙軸協(xié)同與高精度運(yùn)動系統(tǒng)? 雙工位同步切割技術(shù)通過獨(dú)立雙軸運(yùn)行,適配12寸晶圓,切割效率較單軸提升50%以上,定位精度達(dá)±1μm?。 采用進(jìn)口直線電機(jī)與光柵尺閉環(huán)系統(tǒng),結(jié)合實(shí)時反饋算法,確保切割路徑的納米級重復(fù)精度?。 ?動態(tài)參數(shù)智能調(diào)節(jié)?