硅壓力傳感器是一種普遍用于工業(yè)生產(chǎn)和科學研究的電子儀器設備,能夠?qū)⑽锢砹哭D化為電信號輸出。該傳感器以硅為主要材料,通過微小形變實現(xiàn)對應壓力值的測量。由于其精度高、響應速度快、抗干擾性好等優(yōu)點,在機械制造工業(yè)、汽車工業(yè)、醫(yī)療儀器、航空航天等領域得到了廣泛應用。
1.什么是硅壓力傳感器
硅壓力傳感器是一種采用硅微加工技術制成的傳感器。它可以將所受的力轉化為電信號輸出,成為壓力信號檢測元件。通常情況下,硅壓力傳感器由壓電材料、芯片模塊、接線橋等基本組成部分構成。在加力作用下,壓電材料會發(fā)生扭曲或彎曲的微小變形,芯片模塊會依據(jù)此類形變信息轉化為相應的電信號信號,整個測量過程實現(xiàn)了無接觸、高靈敏的傳感效果。
2.硅壓力傳感器原理
硅壓力傳感器的工作基于猶質(zhì)量不變性原理,通過受力引起微小形變后相對應的電學特性(如電容、電阻值)發(fā)生改變,來實現(xiàn)對物理量信號的測量。精簡而言,它由一個硅片襯底和制成扭曲截面的壓敏型硅膜組成,其中硅膜上有牽引應變感受電橋電路組件。當外界有壓力作用在硅膜上時,硅膜將有網(wǎng)格中構成的四邊微區(qū)形變,將該形變轉換為電信號,進而傳遞到輸出端口進行信號讀取。
3.硅壓力傳感器作用
硅壓力傳感器主要用于實現(xiàn)壓力的測量和監(jiān)測,常見于汽車合成測試、流體測量、機械制造等領域。與其他類型傳感器相比,硅壓力傳感器具有靈敏度高、響應迅速、抗干擾能力強、溫度穩(wěn)定范圍廣等優(yōu)點。此外,它還可以適配各種環(huán)境、根據(jù)不同生產(chǎn)要求進行配置和調(diào)整,是性價比較高的壓力測量選擇之一。