光柵位移傳感器

光柵位移傳感器（Grating Displacement Sensor），是測(cè)量線(xiàn)性或角度位移的一種高精度非接觸式測(cè)量?jī)x器。它通過(guò)從光柵中讀取周期性結(jié)構(gòu)的光信號(hào)，來(lái)測(cè)量物體相對(duì)于傳感器的移動(dòng)距離。

1.什么是光柵位移傳感器

光柵位移傳感器是一種機(jī)電一體化測(cè)量設(shè)備，利用光柵原理檢測(cè)目標(biāo)位移情況，具有非常高的分辨率，一般可達(dá)到微米級(jí)別，甚至更小。它可以直接安裝在需要進(jìn)行位移測(cè)量的部件上，且不需要與被測(cè)量對(duì)象直接接觸，因此具有很好的抗干擾能力，并適用于高精度位移量測(cè)、工業(yè)在線(xiàn)控制等領(lǐng)域。

2.光柵位移傳感器作用

光柵位移傳感器主要用于直線(xiàn)位移和角度位移的測(cè)量，可以廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、半導(dǎo)體生產(chǎn)、金屬加工、電子制造、醫(yī)療器械以及航空、航天等領(lǐng)域的高精度測(cè)量和自動(dòng)化控制中。

3.光柵位移傳感器原理

具體來(lái)說(shuō)，光柵位移傳感器采用了“光柵”原理，即利用光學(xué)柵片（如刻痕板、角斜光柵等），通過(guò)形成周期性的透明和不透明結(jié)構(gòu)使得被測(cè)物體的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生相位變化，從而實(shí)現(xiàn)位移量的測(cè)量。在位移傳感器中，通常通過(guò)將一個(gè)光源聚焦到一條線(xiàn)上并投射到一個(gè)光柵上，測(cè)量出透過(guò)光柵的光的干涉信號(hào)，再通過(guò)檢測(cè)非正弦干涉信號(hào)的相對(duì)位置來(lái)計(jì)算出目標(biāo)位移的大小。