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今年2月，全球光刻機(jī)龍頭廠商ASML發(fā)布的2021年度報(bào)告，其中提到“2021年經(jīng)相關(guān)報(bào)道了解到，因竊密而被判賠償?shù)腦TAL公司的相關(guān)公司——東方晶源可能正積極地在中國(guó)銷售侵犯ASML知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品”。ASML還表示，已經(jīng)聯(lián)系了部分客戶要求暫停與XTAL有關(guān)聯(lián)的東方晶源的業(yè)務(wù)往來(lái)，并已告知中國(guó)政府相關(guān)情況。ASML稱，其正在“密切關(guān)注這一情況，并準(zhǔn)備在適當(dāng)?shù)臅r(shí)候采取法律行動(dòng)”。
隨后，東方晶源發(fā)布聲明回應(yīng)稱，“關(guān)注到近期在網(wǎng)絡(luò)媒體上出現(xiàn)大量與我司有關(guān)、且與事實(shí)不符的報(bào)道。對(duì)于相關(guān)不實(shí)信息，我司將保留追究其法律責(zé)任的權(quán)利。”
近日，彭博社再度對(duì)于ASML與XTAL和東方晶源之間的糾葛進(jìn)行了報(bào)道。
ASML起訴XTAL竊取知識(shí)產(chǎn)權(quán)獲勝
據(jù)彭博社報(bào)道稱，XTAL 和東方晶源微電子這兩家公司都是由ASML-Brion部門前員工俞宗強(qiáng)（Zongchang Yu）成立于2014年，其中，XTAL主要設(shè)計(jì)和制造半導(dǎo)體設(shè)備并為行業(yè)提供咨詢服務(wù)，而東方晶源專注于集成電路良率管理。
俞宗強(qiáng)于2012年從ASML離職，并于2014年1月在美國(guó)圣何塞國(guó)際機(jī)場(chǎng)附近的辦公園區(qū)成立了 XTAL。一個(gè)月后，他在北京的一個(gè)政府資助的工業(yè)區(qū)創(chuàng)立了東方晶源。
ASML 的律師瑞安（Ryan）在 2018年ASML起訴XTAL侵權(quán)的審判中稱，XTAL和東方晶源是俞宗強(qiáng)在中國(guó)東方集團(tuán)董事局主席兼首席執(zhí)行官的韓景遠(yuǎn)支持下成立的。
據(jù)跟蹤中國(guó)公司所有權(quán)的荷蘭達(dá)特納公司（Datenna）稱，截至2019年，東方集團(tuán)通過(guò)其子公司持有東方晶源50%以上的股份。Datenna表示，自那以后，隨著其他投資者的加入，該公司已出售了其所持股份。
Ryan當(dāng)時(shí)也表示， XTAL和東方晶源兩家公司是為了同一個(gè)目標(biāo)攜手合作，那就是獲取ASML的技術(shù)，并將其轉(zhuǎn)移到中國(guó)公司，當(dāng)時(shí)中國(guó)也正在大力發(fā)展自己的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
雖然ASML最初被告知XTAL的業(yè)務(wù)不包括計(jì)算光刻，但實(shí)際上，XTAL的業(yè)務(wù)不僅包括了計(jì)算光刻，而且被認(rèn)為非法利用ASML-Brion在該領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)。在XTAL公司成立一年后，就搶下了ASML的多個(gè)大客戶，包括電子巨頭三星公司。
隨后，在2016年ASML公司對(duì)XTAL公司發(fā)起了訴訟。ASML指控其美國(guó)子公司的幾名前員工竊取了公司機(jī)密，包括OPC軟件、源代碼、公司定價(jià)策略和供內(nèi)部使用的設(shè)備手冊(cè)，并將這些機(jī)密傳給了XTAL公司。
根據(jù)庭審證詞，2016年1月，XTAL與韓國(guó)三星電子有限公司（Samsung Electronics Co.）簽訂了一份價(jià)值2700萬(wàn)美元的合同，該公司是ASML的長(zhǎng)期客戶，ASML負(fù)責(zé)向其提供OPC軟件。僅在兩年的時(shí)間里，XTAL就復(fù)制了這一項(xiàng)技術(shù)。
ASML律師Ryan指控稱，正是因?yàn)橥ㄟ^(guò)使用ASML被盜數(shù)據(jù)作為路線圖，XTAL才縮短了開(kāi)發(fā)該軟件所需的時(shí)間。
ASML表示，他們花了1億美元和10年的時(shí)間才開(kāi)發(fā)出了OPC技術(shù)。
作為全球最大的光刻機(jī)廠商，ASML擁有著極高的市場(chǎng)份額。根據(jù)研究公司Gartner的數(shù)據(jù)顯示，截至2021，ASML控制了全球171億美元光刻設(shè)備市場(chǎng)90%以上的份額。同時(shí)，ASML也是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商。一臺(tái)EUV光刻機(jī)足有一座小房子那么大，售價(jià)超過(guò)1億美元。
雖然OPC軟件只占ASML營(yíng)收不到1%，但是如果沒(méi)有它，光刻機(jī)就無(wú)法準(zhǔn)確地光刻出微小的電路。
據(jù)ASML高管、開(kāi)發(fā)該軟件部門的總經(jīng)理Yu Cao證實(shí)：“如果你沒(méi)有進(jìn)行任何OPC，那么芯片上的圖案就完全被破壞了，這將是一個(gè)無(wú)法工作的芯片。”
賓夕法尼亞州半導(dǎo)體研究公司Information Network總裁羅伯特·卡斯特拉諾（RobertCastellano）表示，中國(guó)正在開(kāi)發(fā)自己的光刻機(jī)，但要趕上ASML可能需要數(shù)年的時(shí)間。他說(shuō)，掌握OPC軟件可以縮小一些差距，讓中國(guó)制造商改進(jìn)這些機(jī)器，并在他們生產(chǎn)的芯片上封裝更多晶體管。
Ryan告訴陪審團(tuán)：“XTAL（有了ASML OPC技術(shù)機(jī)密）不必走死胡同，因?yàn)樗滥男┦撬篮?，它知道哪些是通向榮耀、快速發(fā)展和金錢的道路。”
2018年11月28日，在美國(guó)加州圣克拉拉聯(lián)邦法院、陪審團(tuán)做出本案的初步裁決，裁定XTAL盜竊知識(shí)產(chǎn)權(quán)的行為屬于惡意，ASML對(duì)XTAL提出的所有五項(xiàng)罪名成立，可依法獲得懲罰性賠償。這五項(xiàng)罪名包括：誘使ASML前雇員違反合同、協(xié)助和教唆前雇員違反其誠(chéng)信義務(wù)，以及多次違反加州的計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)訪問(wèn)和欺詐法案。
但一個(gè)月后，XTAL公司申請(qǐng)破產(chǎn)，造成美國(guó)加州圣克拉拉市法院只能延遲判決，直到破產(chǎn)法院的程序結(jié)束后，最終于2019年5月3日發(fā)出最終判決結(jié)果，ASML獲得勝訴，XTAL需賠償ASML 8.45億美元賠償（因XTAL已破產(chǎn)因此無(wú)法支付），ASML接手了已破產(chǎn)的XTAL的大部分知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
三星當(dāng)時(shí)表示，與XTAL或東方晶源已沒(méi)有關(guān)系。三星指出，ASML此前已經(jīng)發(fā)表聲明稱，三星沒(méi)有參與“針對(duì)ASML的任何惡意行動(dòng)”，這家荷蘭公司沒(méi)有失去任何業(yè)務(wù)，因?yàn)樵诟`秘案被發(fā)現(xiàn)時(shí)，三星與XTAL之間的合作就已經(jīng)“受阻”。
兩位前員工被判有罪
根據(jù)當(dāng)時(shí)的審判證詞稱，俞宗強(qiáng)在成立XTAL和東方晶源之后，就從ASML 招募了多位從事光學(xué)鄰近校正 (OPC) 軟件的工程師。當(dāng)時(shí)，離職的員工向他們的經(jīng)理保證，他們離職后將從事與ASML技術(shù)無(wú)關(guān)的工作。
然而，當(dāng)ASML工程總監(jiān)Song Lan于 2015 年 8 月辭職后，ASML檢查了他的電腦。根據(jù)XTAL在破產(chǎn)程序中的申請(qǐng)資料顯示，Song Lan同時(shí)在為 XTAL和東方晶源這兩家公司工作。Song Lan在離開(kāi)ASML前，已將ASML的相關(guān)文件下載到硬盤中，隨后將其帶到了新雇主的手中。
據(jù)文件顯示，成為XTAL工程副總裁的Song Lan獲取的數(shù)據(jù)包括ASML OPC軟件的源代碼。Song Lan在作證辯稱，他在備份自己的ASML電子郵件以保存?zhèn)€人數(shù)據(jù)時(shí)，無(wú)意中使用了該代碼。代碼在一封電子郵件的附件中，Song Lan說(shuō)他從未打開(kāi)過(guò)。
△Source: Santa Clara County District Attorney's Office
ASML的律師表示，他們無(wú)法了解Song Lan的全部活動(dòng)。根據(jù)文件，在ASML告知XTAL其起訴意圖后，Song Lan在硬盤上使用了一個(gè)刪除程序，擦除了多達(dá)61GB的數(shù)據(jù)。Song Lan沒(méi)有在證詞中提及刪除，因?yàn)閄TAL的律師反對(duì)就此提出問(wèn)題。
根據(jù)ASML專家的證詞，另一名ASML前員工Wanyu Li 在離職前將 ASML 的 OPC 軟件的全部 200 萬(wàn)行源代碼下載到硬盤上，然后加入了XTAL并擔(dān)任IT 主管。
調(diào)查人員發(fā)現(xiàn)，有證據(jù)表明，Wanyu Li 在加入XTAL之后，立即在XTAL使用了該軟件，并將部分代碼上傳到GitHub服務(wù)器，XTAL和東方晶源的大約30名工程師可以訪問(wèn)該軟件。
根據(jù)庭審記錄，法官告知陪審團(tuán)，Wanyu Li承認(rèn)銷毀了證據(jù)，他將硬盤摔成碎片，然后在庭審前夕將其交給了XTAL的律師。
XTAL的律師唐納德·普特曼（Donald Putman）承認(rèn)，Wanyu Li取了源代碼并損壞了硬盤。普特曼在法庭上表示：“Wanyu Li的所作所為沒(méi)有粉飾”，“你不能這么做，這是錯(cuò)誤的，這是非法的，不合常規(guī)的。”
但是，普特曼表示，XTAL沒(méi)有人知道Wanyu Li擁有ASML被盜的OPC軟件代碼。“XTAL從未真正使用過(guò)它”，他說(shuō)，“XTAL從來(lái)沒(méi)（利用該軟件代碼）賺過(guò)一分錢。”
根據(jù)法院文件顯示，ASML于2019年4月向美國(guó)圣克拉拉縣地方檢察官辦公室提起了針對(duì)其前員工俞宗強(qiáng)、Song Lan、Wanyu Li的刑事指控，指控他們竊取商業(yè)機(jī)密。
△Song Lan, WanyuLi and Zongchang Yu were charged in California with stealing trade secrets from the Dutch firm ASML. Source: Santa Clara County District Attorney’s Office
據(jù)檢察官埃林·韋斯特（ErinWest）稱，56歲的Wanyu Li和48歲的Song Lan分別承認(rèn)了一項(xiàng)重罪指控和輕罪指控，二者均因非法獲取計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)而被判有罪。Wanyu Li被判處7個(gè)月的電子監(jiān)控刑期，Song Lan被判處90天的社區(qū)服務(wù)。美國(guó)當(dāng)局在 2019 年 5 月宣布逮捕這三人時(shí)，俞宗強(qiáng)已經(jīng)前往中國(guó)。
ASML的律師指控俞宗強(qiáng)策劃了這起竊取商業(yè)機(jī)密案。根據(jù)ASML專家的證詞，俞宗強(qiáng)的員工在電子郵件中討論了使用ASML公司的源代碼來(lái)加速XTAL的軟件開(kāi)發(fā)。他們作證說(shuō)，他還擁有ASML機(jī)密技術(shù)手冊(cè)的副本，并通過(guò)電子郵件發(fā)送給了他的員工。
俞宗強(qiáng)作證說(shuō)，當(dāng)時(shí)他認(rèn)為使用一些ASML內(nèi)部材料來(lái)幫助指導(dǎo)XTAL的工作沒(méi)有問(wèn)題。
俞宗強(qiáng)在一封電子郵件中寫道：“這對(duì)我們的建模工作是一個(gè)很好的參考。”
ASML反對(duì)炒作中國(guó)威脅，但仍對(duì)可能存在的侵權(quán)表示擔(dān)憂
在ASML與XTAL官司勝訴后，荷蘭《Financieele Dagblad》發(fā)表了一篇報(bào)道，聲稱ASML美國(guó)子公司研發(fā)部門的六名中國(guó)籍員工參與竊取相關(guān)技術(shù)，并與XTAL分享了ASML軟件流程的信息，這違反了他們的雇傭合同。并熱炒這些中國(guó)籍員工是中國(guó)間諜。此外，報(bào)道還稱，經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)，XTAL的中國(guó)母公司是東方晶源。
隨后，ASML反駁了這一說(shuō)法。ASML CEO Peter Wennink表示，“報(bào)道中有很多失實(shí)的地方，這一報(bào)道試圖扭曲事實(shí)，竊取知識(shí)產(chǎn)權(quán)的不僅僅有中國(guó)公民，也有其他國(guó)家的，卻被有意的進(jìn)行扭曲。”“這些員工來(lái)自于不同國(guó)家，他們竊取了ASML產(chǎn)品和服務(wù)的一小部分，將其出售給了ASML位于韓國(guó)的客戶。此外，XTAL是一家有韓國(guó)和中國(guó)資金支持的公司。”
此外，ASML在2019年4月的一份新聞稿中表示：“關(guān)于政府指使‘陰謀’竊取我們的知識(shí)產(chǎn)權(quán)和商業(yè)機(jī)密的廣泛猜測(cè)正是如此：廣泛猜測(cè)。”并表示，“認(rèn)為我們是國(guó)家陰謀的受害者的說(shuō)法是錯(cuò)誤的。”他說(shuō)：“事實(shí)是，我們被少數(shù)硅谷員工搶劫，他們?yōu)榱酥赂欢`法。
然而，在這之前的幾個(gè)月，ASML的律師曾試圖直接將俞宗強(qiáng)的中國(guó)公司與中國(guó)的技術(shù)野心聯(lián)系在一起。ASML律師安德魯·懷恩特魯布（AndrewWinetroub）向法庭表示：“這符合中國(guó)政府正在采用的更廣泛戰(zhàn)略。”他辯稱，ASML有證據(jù)表明，東方晶源正在接受中國(guó)政府的資金，“XTAL也與此密切相關(guān)”。
ASML首席律師Ryan稱：“他們想成為中國(guó)的ASML，竊取我們的軟件是朝著正確方向邁出的一步。”
ASML律師表示將提供支持這些指控的證據(jù)。
當(dāng)時(shí)XTAL的律師普特曼（Putterman）稱，這相當(dāng)于是對(duì)中國(guó)“后門偏見(jiàn)語(yǔ)調(diào)”的“重復(fù)努力”。隨后，法官也指示 ASML應(yīng)該專注于僅限于對(duì)美國(guó)公司 XTAL 的指控。
彭博社稱，ASML的案件突顯出許多西方公司在與中國(guó)打交道時(shí)所面臨的復(fù)雜性。中國(guó)是ASML的第三大市場(chǎng)。但自2019年以來(lái)，荷蘭政府阻止該公司在那里銷售其最先進(jìn)的EUV光刻設(shè)備。ASML反對(duì)這些限制。
大西洋理事會(huì)（Atlantic Council）高級(jí)研究員尼克·埃菲米亞德斯（NickEftimiades）表示，中國(guó)“將ASML置于非常尷尬的境地”。
追蹤中國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)盜竊和間諜案件的前美國(guó)國(guó)防部官員埃夫蒂米亞德斯（Eftimiades）表示：“這不是第一次有公司被竊密，并拒絕將其公開(kāi)。”“許多公司竭盡全力不讓公眾、股東和投資者知道這些事件。”
聯(lián)邦調(diào)查局局長(zhǎng)克里斯托弗·賴（Christopher Wry）說(shuō)：“中國(guó)公司經(jīng)常竊取美國(guó)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，然后用它來(lái)與受害的美國(guó)公司競(jìng)爭(zhēng)。”
中國(guó)外交部發(fā)表的一份官方聲明稱：“美國(guó)的反華政客一直在利用‘知識(shí)產(chǎn)權(quán)盜竊’話題抹黑中國(guó)”，并將這些指控稱為“惡意炒作”。
值得注意的是，在今年2月發(fā)布的公司財(cái)報(bào)當(dāng)中，ASML首度公開(kāi)提及了對(duì)于東方晶源可能侵犯ASML知識(shí)產(chǎn)權(quán)一事的擔(dān)憂。ASML表示，已經(jīng)聯(lián)系了部分客戶要求暫停與XTAL有關(guān)聯(lián)的東方晶源的業(yè)務(wù)往來(lái)，并已告知中國(guó)政府相關(guān)情況。
但是，ASML并不是直接指控，而是稱“經(jīng)相關(guān)報(bào)道了解到”。因此，東方晶源也直接回應(yīng)稱，
但對(duì)于ASML援引的媒體的指控，東方晶源回應(yīng)稱，“關(guān)注到近期在網(wǎng)絡(luò)媒體上出現(xiàn)大量與我司有關(guān)、且與事實(shí)不符的報(bào)道。對(duì)于相關(guān)不實(shí)信息，我司將保留追究其法律責(zé)任的權(quán)利。”
截至目前，ASML公司也并未發(fā)起所謂的“法律行動(dòng)”。
快速發(fā)展中的東方晶源
對(duì)于俞宗強(qiáng)來(lái)說(shuō)，XTAL的麻煩并沒(méi)有減緩東方晶源的崛起。
根據(jù)資料顯示，東方晶源在2014年成立之后，就確立了以電子束圖像檢測(cè)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)和計(jì)算光刻技術(shù)為主攻方向。
2015年，東方晶源與中國(guó)科學(xué)院微電子研究所簽署了一份研究協(xié)議，該研究所是政府的半導(dǎo)體研究中心。東方晶源與該研究所成立了一家芯片技術(shù)開(kāi)發(fā)合資企業(yè)。自那以后，東方晶源多次獲得官方授予的榮譽(yù)和贊譽(yù)。
東方晶源還在2019年被授予了一項(xiàng)范圍廣泛的專利，其中包括OPC軟件。
2021年上半年，東方晶源的CD-SEM成功出機(jī)國(guó)內(nèi)晶圓代工龍頭企業(yè)，市場(chǎng)地位進(jìn)一步夯實(shí)；02國(guó)家重大專項(xiàng)、工業(yè)強(qiáng)基等項(xiàng)目順利推進(jìn)；成功被評(píng)定為第三批國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)。
此外，在客戶的支持下，東方晶源還一舉拿下多個(gè)重要訂單，東方晶源三款核心產(chǎn)品均已在客戶產(chǎn)線驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)訂單，三款產(chǎn)品也因此填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，為中國(guó)集成電路制造國(guó)產(chǎn)化做出重要貢獻(xiàn)。
2021年9月，東方晶源宣布完成新一輪數(shù)億元股權(quán)融資。該輪融資由賽領(lǐng)資本、深創(chuàng)投領(lǐng)投，眾多知名投資機(jī)構(gòu)聯(lián)合投資。
截止目前，東方晶源成功自主研發(fā)了計(jì)算光刻軟件（OPC）、納米級(jí)電子束檢測(cè)裝備（EBI）和關(guān)鍵尺寸量測(cè)裝備（CD-SEM）三款核心產(chǎn)品，填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)空白，已經(jīng)成為解決我國(guó)集成電路領(lǐng)域“卡脖子”問(wèn)題的重要力量，對(duì)全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控具有重要的戰(zhàn)略價(jià)值和意義。
彭博社的報(bào)道還提及，在2020年出版的一本《中國(guó)科技企業(yè)家訪談錄》當(dāng)中，俞宗強(qiáng)被描寫為中國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展的“旗手”。他告訴作者，他最大的夢(mèng)想之一是幫助中國(guó)創(chuàng)建自己的OPC軟件，并“打破外國(guó)壟斷”。
對(duì)于彭博社的最新報(bào)道，ASML 拒絕發(fā)表評(píng)論，東方晶源也拒絕發(fā)表評(píng)論。
編輯：芯智訊-浪客劍
