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集微網(wǎng)消息，3月29日，清華大學發(fā)布等離子體刻蝕機采購項目公開招標公告。
圖源：清華大學設(shè)備采購信息發(fā)布平臺
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該公告顯示，清華大學現(xiàn)對等離子體刻蝕機采購項目進行國內(nèi)公開招標，欲采購1套等離子體刻蝕機，采購預算為165萬元。該等離子體刻蝕機將用于刻蝕薄膜鈮酸鋰晶圓，從而加工基于薄膜鈮酸鋰晶圓的電光器件。（校對/若冰）
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