現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)外一聊到半導(dǎo)體行業(yè)都會提及光刻機(jī)。全球三大光刻機(jī)供應(yīng)商:ASML、NIKON、CANON在過去幾十年里推出了上百種各類型號、不同技術(shù)指標(biāo)和功能的光刻設(shè)備。即便是行業(yè)內(nèi)的專業(yè)人士也無法完全背誦出來所以我也一直在花時間收集整理這些數(shù)據(jù)。
ASML、NIKON、CANON光刻機(jī)型號參數(shù)匯總
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