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CP測試系統(tǒng)的構(gòu)成

2024/11/04
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CP測試系統(tǒng)可以類比為一個精密的醫(yī)設(shè)備,用于檢查晶圓上的芯片是否健康,確保它們在最后加工成成品之前符合規(guī)格。這個測試系統(tǒng)主要由以下幾個核心部分組成:

測試機(ATE):就像醫(yī)生的診斷儀器,通過一系列標準化的測試程序來檢測芯片的各項性能指標。它的主要組成包括:

測試機頭:好比醫(yī)生的聽診器,與芯片直接接觸,執(zhí)行具體的測試任務(wù)。

測試程序:這一程序就像醫(yī)生的診斷步驟,由工作站從服務(wù)器下載后在本地執(zhí)行。

探針臺(Prober):相當于護士或助手,負責(zé)將晶圓定位準確,以便測試機能進行精確檢測。探針臺通過操作將探針卡上的探針準確對準晶圓上的測試焊盤,確保信號順利傳遞。

探針卡(Probe Card):可視為連接醫(yī)生(測試機)與病人(晶圓)的管道,它上面的探針接觸晶圓上的測試焊盤,把電信號傳遞至芯片。探針通常由優(yōu)質(zhì)導(dǎo)電材料制成,以確保信號傳輸的有效性。

針測接口板和針塔:這兩者結(jié)合形成一個完整的信號回路,讓電信號從ATE傳輸?shù)教结?,再到晶圓。就像醫(yī)生使用的導(dǎo)線和附屬設(shè)備,確保整個檢測過程的電信順暢。

晶圓卡盤(Chuck):它固定晶圓位置,仿佛是給病人檢查時的躺椅,穩(wěn)固且精確地保持晶圓在正確的位置以利于測試機進行有效診斷。

在這個系統(tǒng)中,所有部分都緊密地協(xié)作,就像一個完整的體檢過程,確保每顆芯片都通過嚴格的測試程序,為下游的生產(chǎn)工序提供高質(zhì)量的“健康”芯片。通過這樣的系統(tǒng)性測試,工廠能大幅度降低生產(chǎn)缺陷,保證產(chǎn)品質(zhì)量。

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