Scanner為什么那么快？

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：ASML的TWINSCAN XT系列的scanner機(jī)臺(tái)的WPH最高能達(dá)到300pcs，為什么Scanner的產(chǎn)能遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于stepper？

什么是stepper和scanner？

sepper，全名步進(jìn)投影式光刻機(jī)。Stepper 每次曝光晶圓上的一小塊區(qū)域，即一個(gè)shot，然后晶圓在曝光后移動(dòng)到下一個(gè)區(qū)域，重復(fù)此過(guò)程，逐步曝光整個(gè)晶圓。scanner,全名步進(jìn)掃描投影式光刻機(jī)。

為什么Scanner更快？

這要從其工作原理來(lái)入手。

Stepper 每次曝光晶圓上的一小塊區(qū)域，即一個(gè)shot，然后只有晶圓在曝光后移動(dòng)到下一個(gè)區(qū)域，掩模版不動(dòng)重復(fù)此過(guò)程，逐步曝光整個(gè)晶圓。

而Scanner是一個(gè)狹長(zhǎng)的光束（狹縫光束）投影到晶圓的每個(gè)芯片上進(jìn)行曝光。晶圓在曝光時(shí)不斷移動(dòng)，掩模和晶圓之間向相反方向移動(dòng)，光束逐步掃描整個(gè)晶圓。見(jiàn)視頻：在Scanner中，掩模版和晶圓在曝光時(shí)同時(shí)移動(dòng)，減少了曝光過(guò)程中的停頓時(shí)間。另一方面Scanner在曝光時(shí)不需要頻繁地進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)和定位。這兩個(gè)方面使Scanner極大地提高了時(shí)間利用率。

哪些機(jī)臺(tái)會(huì)用Scanner的方式？

以ASML的機(jī)臺(tái)為例，之前的i線光刻機(jī)普遍采用的是stepper，現(xiàn)有的DUV,EUV產(chǎn)品均是采用的是Scanner。

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