ERS發(fā)布晶圓輪廓儀Wave3000和半自動(dòng)光學(xué)拆鍵合機(jī)Luminex

Semicon China 2024舉辦在即，半導(dǎo)體制造業(yè)提供溫度管理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者德國ERS electronic公司宣布在中國成立分公司：上海儀艾銳思半導(dǎo)體電子有限公司，進(jìn)一步為不斷增長的中國半導(dǎo)體封測(cè)市場(chǎng)提供設(shè)備銷售、訂單處理、技術(shù)支持和樣品展示等相關(guān)服務(wù)。

自2018年進(jìn)入中國以來，ERS中國業(yè)務(wù)成長迅速。根據(jù)ERS CEO Laurent Giai-Miniet的介紹，近年來ERS的營收增長迅速，全球營收2018-2022年復(fù)合增長率為21.6%，其中來自中國的營收增速更是喜人，2018-2022年復(fù)合增長率達(dá)到51.3%。

圖 | ERS CEO Laurent Giai-Miniet，與非網(wǎng)攝制

Laurent Giai-Miniet表示：“受到需求端萎縮的影響，2023年全球半導(dǎo)體行業(yè)下行，但ERS在中國市場(chǎng)的表現(xiàn)依然可圈可點(diǎn)，占據(jù)ERS全球收入的36%，年度營收同比增長30%，高于全球的24%增長值。因此，公司決定繼續(xù)加大在中國的投入，包括在中國設(shè)立分公司，未來還將考慮除了銷售團(tuán)隊(duì)和技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)外，或?qū)⒃黾颖镜亟M裝和本地研發(fā)團(tuán)隊(duì)，來更好地服務(wù)中國客戶。”

與此同時(shí)，ERS還發(fā)布了兩款新品——晶圓輪廓儀Wave3000和半自動(dòng)光學(xué)拆鍵合機(jī)Luminex。

圖 | 晶圓輪廓儀Wave3000和半自動(dòng)光學(xué)拆鍵合機(jī)Luminex，與非網(wǎng)攝制

根據(jù)ERS中國區(qū)總經(jīng)理周翔的介紹，晶圓輪廓儀Wave3000是一款輕量級(jí)的晶圓輪廓儀，是可以幫助封測(cè)企業(yè)降低不良率的多功能測(cè)試平臺(tái)，可生成交互式晶圓三維3D視圖。當(dāng)前，Wave3000有兩個(gè)版本，分別為手動(dòng)版和全自動(dòng)版，手動(dòng)版主要面向芯片設(shè)計(jì)企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)，全自動(dòng)版主要面向封測(cè)廠等批量生產(chǎn)的企業(yè)。

事實(shí)上，在晶圓制造前道中，有尼康等公司的產(chǎn)品去做晶圓翹曲的檢測(cè)，功能十分強(qiáng)大，但在后道環(huán)節(jié)中卻缺少這樣的設(shè)備，很多企業(yè)還是用尺子去測(cè)量的方法，測(cè)量精度十分有限，效率也不高，有時(shí)可能還會(huì)造成潛在的碎片風(fēng)險(xiǎn)。ERS推出的Wave3000，通過光學(xué)掃描方法，全方位精確測(cè)量出晶圓厚度、形狀以及不同溫度下翹曲的變化。機(jī)器高度的靈活性和精確度，不僅有助企業(yè)降低不良率，減少破損；一分鐘內(nèi)得出測(cè)量結(jié)果的產(chǎn)出效率同時(shí)為客戶提供了高效的解決方案。

而關(guān)于半自動(dòng)光學(xué)拆鍵合機(jī)Luminex，ERS采用的是光學(xué)方案，使用鍍有光吸收層的玻璃載體，將光能轉(zhuǎn)化為熱能，瞬間閃爍的最高功率達(dá)到45 kW/cm²的高能白光燈可以將納米級(jí)別厚度的鍵合膠層汽化，不會(huì)有剩余膠體殘留，最終輕松將芯片與載體分離，可兼容多種不同鍵合材料。

圖 | ERS中國區(qū)總經(jīng)理周翔，與非網(wǎng)攝制

周翔表示：“與目前主流的激光脫膠相比，采用光學(xué)方案的Luminex可以幫助客戶降低30%的運(yùn)營成本?！?/p>

究其原因，有三大方面。一方面是玻璃載板上具有特殊光吸收層的可以重復(fù)使用大約15個(gè)周期以上。同時(shí)因?yàn)槲諏拥木壒?，完全杜絕了傳統(tǒng)激光脫膠產(chǎn)生的殘膠問題，每個(gè)周期后僅需要用純水清洗就可以保證下次使用無礙，并且多個(gè)業(yè)界主流鍵合膠均以通過驗(yàn)證，可以很大程度上降低耗材成本；另一方面，由于光解鍵合的特殊原理區(qū)別于傳統(tǒng)激光解鍵合，在工藝上不需要額外添加激光反應(yīng)層，這不僅會(huì)減少耗材成本投入，還會(huì)減少工序；最后，采用最新光學(xué)方案的Luminex還具有超高的運(yùn)行效率。幾十秒內(nèi)就可以完全脫膠，1小時(shí)內(nèi)可以處理50+片晶圓，效率提高很多。

綜上，Wave3000和Luminex都具有強(qiáng)大的方案領(lǐng)先性和市場(chǎng)需求背書，與非網(wǎng)另外采訪到了IDM廠做設(shè)備采購的專業(yè)人員，都表示對(duì)ERS的這兩款產(chǎn)品十分看好。

圖 | Luminex產(chǎn)品線可自由組合出貨

據(jù)悉，Wave3000和Luminex兩臺(tái)樣機(jī)設(shè)備將在近日發(fā)往中國上海，中國本土的客戶很快就可以在上海嘉定的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行試驗(yàn)。而周翔透露，目前已經(jīng)有中國客戶在排隊(duì)準(zhǔn)備上機(jī)體驗(yàn)。