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壓阻式壓力傳感器的工作原理

2021/03/21
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硬件型號：XGZP8壓阻式壓力傳感器

系統(tǒng)版本：傳感系統(tǒng)

壓阻式壓力傳感器的工作原理

壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當壓力發(fā)生變化時，單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變，使直接擴散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化，再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。

壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。用于測量直升飛機機翼的氣流壓力分布，測試發(fā)動機進氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。

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