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一提量檢測(cè)設(shè)備，大多數(shù)人想到的都是缺陷、膜厚、線(xiàn)寬、套刻精度等。但是事實(shí)上量測(cè)的范圍非常廣泛，晶圓形貌量測(cè)也是一個(gè)重要的環(huán)節(jié)
- 宏觀/3D幾何主要是量測(cè)晶圓整體的翹曲程度而微觀主要是量測(cè)局部的平整度AFM全稱(chēng)Atomic Force Microscope，屬于納米區(qū)域的物理性質(zhì)包括形貌探測(cè)臺(tái)階測(cè)試儀是針對(duì)非透明的薄膜，用實(shí)體探針量測(cè)臺(tái)階高低（膜厚）
我整理了一下手頭的數(shù)據(jù)，全球總共44家供應(yīng)商，39家在中國(guó)大陸，幾乎占了2三分之二。其實(shí)這個(gè)領(lǐng)域的市場(chǎng)空間也不是特別大，居然擠了這么多國(guó)產(chǎn)設(shè)備商，也是出乎我的意料歡迎行業(yè)朋友參考一下。如果發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，請(qǐng)和我私信交流
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