什么是3D IC
3D IC(三維集成電路)是一種通過(guò)垂直堆疊多個(gè)芯片層實(shí)現(xiàn)更高集成度的半導(dǎo)體技術(shù)。與傳統(tǒng)二維平面芯片不同,它突破了平面布局的物理限制,將不同功能的芯片(如邏輯、存儲(chǔ)、傳感器等)通過(guò)垂直互聯(lián)技術(shù)(如TSV硅通孔)層疊封裝,形成立體結(jié)構(gòu)的集成電路。
3D IC的優(yōu)勢(shì)? ?
體積更?。涸诖怪狈较蚨询B芯片,突破二維平面限制,大幅減少封裝體積,適用于對(duì)尺寸敏感的設(shè)備(如手機(jī)、可穿戴設(shè)備)。
多功能融合:將邏輯芯片(如CPU/GPU)、存儲(chǔ)芯片(如DRAM/Flash)、傳感器等異質(zhì)芯片整合在同一封裝內(nèi),實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的系統(tǒng)級(jí)功能。信號(hào)傳輸更快:芯片層間通過(guò)短距離垂直互聯(lián)(如TSV硅通孔),減少信號(hào)延遲,提升數(shù)據(jù)吞吐量(如高帶寬內(nèi)存HBM)。
功耗降低:縮短傳輸路徑減少能量損耗,適合對(duì)續(xù)航要求高的移動(dòng)設(shè)備或高性能計(jì)算場(chǎng)景。? ??異質(zhì)集成:不同工藝節(jié)點(diǎn)的芯片(如邏輯層用5nm、存儲(chǔ)層用28nm)可獨(dú)立優(yōu)化,平衡性能與成本。
模塊化擴(kuò)展:通過(guò)堆疊不同功能芯片,快速迭代產(chǎn)品,適應(yīng)多樣化需求(如AI加速器的專用芯片堆疊)。
垂直散熱路徑:利用芯片層間的導(dǎo)熱材料(如金屬層),將熱量分散導(dǎo)出,避免局部過(guò)熱,提升可靠性。
減少封裝成本:替代多芯片封裝(MCP)或系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP),降低外部接口與組裝成本。
規(guī)?;б妫和ㄟ^(guò)堆疊減少芯片數(shù)量,降低整體物料成本。減少外部連接:內(nèi)部垂直互聯(lián)替代傳統(tǒng)引線鍵合,降低機(jī)械應(yīng)力與故障風(fēng)險(xiǎn),適用于汽車、航空等高可靠性領(lǐng)域。
3D IC的核心組件
3D IC的核心組件是實(shí)現(xiàn)其垂直堆疊架構(gòu)和高性能的關(guān)鍵,主要包括硅襯底(Silicon Substrate)、硅通孔(TSV,Through-Silicon Vias)、微凸點(diǎn)(Micro-Bumps)、芯片層(Die Layers)、鍵合技術(shù)(Bonding Technology)、散熱結(jié)構(gòu)、中介層(Interposer)。
硅襯底是基礎(chǔ)支撐結(jié)構(gòu),承載所有芯片層和互聯(lián)組件,需具備高平整度和機(jī)械強(qiáng)度,確保堆疊時(shí)的穩(wěn)定性。
硅通孔垂直貫穿硅襯底的金屬填充孔,實(shí)現(xiàn)芯片層間的電信號(hào)傳輸;直徑僅數(shù)微米,需高精度制造;要填充金屬(如銅)以降低電阻和信號(hào)延遲;還需解決熱膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致的應(yīng)力問(wèn)題。
微凸點(diǎn)作為層間機(jī)械與電氣連接的接口,替代傳統(tǒng)引線鍵合;間距小至數(shù)微米,密度高;材料通常為焊料(如錫鉛合金)或金屬柱(如銅凸點(diǎn))。
芯片層是堆疊的核心功能單元,包括邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、傳感器等;不同工藝節(jié)點(diǎn)的芯片(如5nm邏輯層+28nm存儲(chǔ)層)獨(dú)立優(yōu)化;堆疊實(shí)現(xiàn)功能擴(kuò)展(如AI芯片疊加專用加速模塊)。
鍵合技術(shù)確保芯片層間的物理連接與對(duì)齊,?;钪苯渔I合和混合鍵合。直接鍵合:如芯片-芯片鍵合(Face-to-Face),需原子級(jí)平整表面?;旌湘I合:結(jié)合微凸點(diǎn)與直接鍵合,提高連接密度和可靠性。
散熱結(jié)構(gòu)是為了解決高密度堆疊帶來(lái)的散熱問(wèn)題,常用的散熱結(jié)構(gòu)包括金屬導(dǎo)熱層和微通道散熱技術(shù)。金屬導(dǎo)熱層(如銅層)可以快速導(dǎo)出熱量;微通道散熱技術(shù)(如液體冷卻)可以用于極端場(chǎng)景。
中介層在2.5D封裝中作為轉(zhuǎn)接層,連接不同芯片。
3D IC設(shè)計(jì)系統(tǒng)
Cadence Integrity 3D-IC 平臺(tái)是大容量、統(tǒng)一的設(shè)計(jì)和分析平臺(tái),用于設(shè)計(jì)多個(gè)芯片。該平臺(tái)建立在 Cadence 領(lǐng)先的數(shù)字實(shí)現(xiàn)解決方案——Innovus Implementation System 的基礎(chǔ)上,允許系統(tǒng)級(jí)設(shè)計(jì)者為各種封裝方式(2.5D 或 3D)規(guī)劃、實(shí)現(xiàn)和分析任何類型的堆疊芯片系統(tǒng)。Integrity 3D-IC 是業(yè)界首個(gè)集成的系統(tǒng)和 SoC 級(jí)解決方案,能夠與 Cadence 的 Virtuoso 和 Allegro 模擬與封裝實(shí)現(xiàn)環(huán)境進(jìn)行系統(tǒng)分析,包括協(xié)同設(shè)計(jì)。
3D IC Compiler基于新思科技的Fusion Design Platform、引擎和數(shù)據(jù)模型,在單一用戶環(huán)境下提供一個(gè)綜合性的端到端解決方案,具有針對(duì)先進(jìn)多裸晶芯片系統(tǒng)設(shè)計(jì)的全套功能提供強(qiáng)大的三維視圖功能,為2.5D/3D封裝可視化提供直觀的環(huán)境。