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/美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領軍企業(yè)Park Systems在2025年韓國半導體展覽會上推出了擴展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品。 繼Park FX200在2024年西部半導體展覽會（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國、日本和韓國市場獲得強烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術的Park FX200 IR和FX300 IR，進一步拓展了大型AFM技術的邊界。
Park FX大型樣品AFM系列：從左至右依次為FX200 IR、FX300、FX300 IR
隨著300毫米晶圓成為半導體行業(yè)的標準，Park FX300應運而生，專為那些追求高精度分析但又不希望采用復雜全自動在線系統(tǒng)的用戶而設計。 對于正考慮在過渡到在線制造之前引入AFM的公司來說，Park FX300無疑是理想的解決方案。
Park FX300針對工業(yè)和研究應用進行了優(yōu)化，有望成為行業(yè)變革者，為眾多AFM技術部署先進的分析和質量控制能力。 它配備了多項專業(yè)功能，如用于半導體后處理過程中銅焊盤長距離平整度測量的滑動平臺、用于晶圓級封裝中樣品精確對準的旋轉平臺，以及用于增強樣品可視化的離軸光學系統(tǒng)。 此外，其風機過濾單元（FFU）可確保受控的無污染環(huán)境，非常適用于潔凈室應用。
Park Systems還推出了FX200 IR和FX300 IR，將其AFM技術擴展至納米級化學分析領域。 通過將傅里葉變換紅外光譜（FTIR）與AFM相結合，這些型號利用光誘導力顯微鏡（PiFM）技術，實現(xiàn)了小于5 nm的空間分辨率的化學識別。 這一突破使研究人員和工程師能夠在不損壞晶圓表面的前提下分析納米級結構的化學成分，為半導體、高分子材料和生命科學領域的材料表征開辟了新的可能性。
FX200 IR和FX300 IR適用于從小尺寸樣品到200 mm或300 mm晶圓的檢測，能夠實現(xiàn)高分辨率紅外光譜成像，為材料成分和分子相互作用提供前所未有的深入解析。 憑借其在超精細尺度上捕捉化學鍵合信息的能力，該技術以無與倫比的精度提升了半導體缺陷分析、高分子研究和先進材料表征。
秉承Park Systems最大限度提高效率并盡量減少人工干預的理念，F(xiàn)X大型樣品AFM系列通過自動化的探針識別與更換、用于探針狀態(tài)監(jiān)測的二維碼系統(tǒng)，以及AI驅動的激光對準功能，提升了可用性，實現(xiàn)了流暢操作。 StepScan?功能通過實現(xiàn)預定義坐標下的自動化連續(xù)測量，進一步提高了效率，使研究人員能夠以最少的人工干預分析表面形貌、電氣、機械和磁性特性。 特別是在紅外（IR）應用中，激光對準常常是一個重大挑戰(zhàn)，而該系統(tǒng)實現(xiàn)了這一過程的完全自動化，使得高分辨率化學分析比以往任何時候都更容易實現(xiàn)。
Park Systems執(zhí)行副總裁Sang-Joon Cho博士強調(diào)了公司對技術領導地位的承諾：“Park Systems在精密測量和自動化領域擁有數(shù)十年的專業(yè)知識和創(chuàng)新經(jīng)驗，我們將這些經(jīng)驗融入其中，對FX大型樣品AFM系列進行了優(yōu)化，使其能夠在工業(yè)和研究領域提供最高水平的晶圓分析。 Park FX300和nano-IR系統(tǒng)正在重新定義工業(yè)級和研究級AFM應用的界限，為我們的客戶提供最先進的AFM技術，共同塑造納米科學的未來?！?/p>
憑借最新的創(chuàng)新成果，Park Systems繼續(xù)鞏固其在原子力顯微鏡領域的全球領先地位，為不斷變化的半導體和納米科學研究需求提供行業(yè)領先的解決方案。
