全球半導體缺陷檢測設(shè)備供應商列表

之前我發(fā)布了CD、套刻量測設(shè)備和膜厚量測設(shè)備的供應商列表（鏈接見下）：全球半導體膜厚量測設(shè)備供應商列表

所以接下來再發(fā)布一個缺陷（顆粒）檢測設(shè)備的供應商數(shù)據(jù)。這個領(lǐng)域，尤其是有圖形晶圓的缺陷檢測可能是所有檢測設(shè)備里技術(shù)門檻最高的領(lǐng)域了（號稱小光刻機的就是這種設(shè)備）

這個領(lǐng)域中的高端設(shè)備幾乎被KLA一家壟斷。雖然從下表中看起來國產(chǎn)設(shè)備廠商很多，但據(jù)我溝通了解，目前國產(chǎn)設(shè)備在KLA的一些高端型號設(shè)備面前差距還非常大。短期內(nèi)要想突破難度極高

目前我只是先把廠商和產(chǎn)品大類的信息統(tǒng)計出來，供大家參考。后續(xù)我會進一步和各家廠商（尤其是國內(nèi)廠商）交流，把更加具體的技術(shù)指標、應用范圍和對標海外產(chǎn)品型號的信息也統(tǒng)計出來

麻煩大家多多支持。能根據(jù)下表給我提供修改意見和補充信息就感激不盡了

注：因為一些特殊原因，有個別廠商暫時沒有列出，希望大家理解