史上最大光刻機拆箱視頻發(fā)布！

作者 |??ZeR0，編輯?|??漠影

2nm制程大戰(zhàn)一觸即發(fā)。

芯東西3月7日報道，最近英特爾芯片制造業(yè)務一片向好，狀態(tài)可謂是春風得意、喜上眉梢，一大原因是，價值近4億美元的全球第一臺High-NA EUV光刻機已經(jīng)進入了英特爾的工廠。

為此，英特爾本周分享出史上最大拆箱視頻，興奮地向全世界分享這一重大喜訊。

這并不是英特爾第一次高調“炫富”了。今年1月首臺High-NA EUV光刻機的主要組件抵達時，英特爾就曬照并宣告：“這是新年最好的開端?！?/p>

為啥這么激動？簡而言之，High-NA EUV光刻機對于生產(chǎn)3nm及更先進制程工藝的芯片舉足輕重，能夠大幅降低制造先進制程芯片的復雜性，并提高產(chǎn)量、降低成本。這種先進設備唯獨荷蘭光刻機霸主ASML能造出來，而且產(chǎn)量極低。臺積電、三星、英特爾、SK海力士等世界頭部邏輯芯片和存儲芯片制造商，為了率先并更多拿到ASML最先進的光刻機爭得不可開交。

特別是正在大刀闊斧開拓代工業(yè)務的英特爾，目標在2025年通過Intel 18A（相當于1.8nm）制程節(jié)點重獲制程領先權，并成為全球第二大芯片代工商（也就是趕超三星），而率先拿到最先進的芯片光刻技術對其吸引更多客源相當有利。英特爾對這臺機器翹盼已久，早在2018年就下單訂購了ASML試點的TWINSCAN EXE:5000光刻機。所以就出現(xiàn)了文章開頭提到的，英特爾隆重地接連分享High-NA光刻機TWINSCAN EXE:5200抵達工廠這個里程碑事件的物料，就差敲鑼打鼓放鞭炮奔走相告了。TWINSCAN EXE:5200具有0.55高數(shù)值孔徑和每小時超過200片晶圓的生產(chǎn)率，體型龐大，有3層樓那么高，運輸總共需要13個卡車容量的集裝箱和250個板條箱，重量約33萬磅。

視頻顯示，一架貨機將集裝箱從荷蘭運輸?shù)矫绹砝諏莶ㄌ靥m，然后由一輛運貨卡車運送了該設備的關鍵部件。

卡車將機器一路運送到英特爾工廠。

在工廠等候已久的工程師們馬不停蹄立即開裝。

這臺機器完全安裝還需250名ASML和英特爾工程師大約耗費6個月。安裝完畢后，工程師們要對機器進行校準，預計又需要幾周甚至幾個月的時間。High-NA EUV光刻機能以8nm分辨率來輸出光刻結果，與當前單次曝光分辨率僅到13nm的EUV光刻機相比，這顯然是個巨大的進步。

按計劃，英特爾會先通過其Intel 18A測試High-NA EUV光刻機的使用，將在2025年部署商用級Twinscan EXE:5200設備用于大批量生產(chǎn)Intel 14A（相當于1.4nm）工藝技術。ASML此前宣布其下一代High-NA EUV光刻機的價格將是其當前Low-NA EUV光刻機的兩倍以上，即大約3.8億美元。不過確切的價格取決于該設備的實際配置，英特爾CEO帕特·基辛格近期透露該機器的成本為“4億左右”。

相比之下，現(xiàn)有Low-NA Twinscan NXE EUV系統(tǒng)的售價約為1.8億美元。ASML曾在2022年宣布，將在2027~2028年期間每年生產(chǎn)20臺High-NA EUV光刻設備。該公司還在今年早些時候透露，其High-NA EUV光刻機累計的訂單臺數(shù)已達到兩位數(shù)。