JSR完成對Inpria Corporation增資，加快極紫外光刻商業(yè)化

JSR 株式會社近日公布，已經(jīng)完成對 Inpria Corporation （以下簡稱為：“Inpria 公司”）的增資。此次增加的投資將會成為 Inpria 公司 C 輪融資的一部分，而此次 C 輪融資是 Inpria 公司以推進 EUV 極紫外光刻的商業(yè)化為目的而募集的。

根據(jù) JSR 官網(wǎng)報道，Inpria 公司自成立以來，一直致力于研發(fā)含有非化學放大類的極紫外光刻，現(xiàn)在，以錫氧化物為主要成分的光刻膠在學會團體的 EUV 曝光中已經(jīng)達到了全球最高性能的極限分辨率。

通過此次出資，使得 JSR 與 Inpria 公司在多方面進行合作，以加快極紫外光刻的商業(yè)實用化。
 
Inpria 公司的發(fā)表內(nèi)容如下（2020 年 2 月 20 日公布）

「EUV Photoresist Pioneer Inpria Raises $31 Million in Series C Funding Led by JSR Corporation - Expanded Investor Group Reflects Growing Industry Support-」

 
【Inpria 公司的概要】

公司名：Inpria Corporation

所在地：美國俄勒岡州科瓦利斯（Oregon State Corvallis）

公司代表：Andrew Grenville

業(yè)務內(nèi)容：研發(fā)含有金屬的 EUV Resist（極紫外光刻）

成立時間： 2007 年