MEMS技術(shù)

院士對(duì)智能傳感器與 MEMS 技術(shù)的預(yù)判有些已成為現(xiàn)實(shí)

2023年2月16日，“感于芯 智未來”第三屆中國(guó)智能傳感大會(huì)在上海嘉定舉辦。本次大會(huì)由工業(yè)和信息化部電子信息司、上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)、上海市嘉定區(qū)人民政府指導(dǎo)，國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心、中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟與上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園共同主辦。大會(huì)得到了上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)、上海市嘉定區(qū)經(jīng)濟(jì)委員會(huì)、上海市嘉定區(qū)科學(xué)技術(shù)委員會(huì)、上海市嘉定區(qū)投資促進(jìn)服務(wù)中心、上海嘉定工業(yè)區(qū)的大力支持，由上海矽知

本文說明MEMS技術(shù)的最新進(jìn)展如何將加速度傳感器推到前沿，在狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用中與壓電傳感器抗衡競(jìng)爭(zhēng)；還將討論如何使用使這一切成為可能的新開發(fā)平臺(tái)。

近年來，基于MEMS技術(shù)的傳聲器得到了廣泛的應(yīng)用?？s小尺寸和聲學(xué)特性的改進(jìn)帶來了一些應(yīng)用程序，這些應(yīng)用程序允許我們與智能手機(jī)視頻和FaceTime共享信息和體驗(yàn)。智能手表可以用來打語音電話。

90年代，在黨和國(guó)家關(guān)于“大力加強(qiáng)傳感器的開發(fā)和在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中普遍應(yīng)用”的決策指引下，傳感器行業(yè)進(jìn)入了新的發(fā)展時(shí)期，經(jīng)過多年的發(fā)展我國(guó)傳感器行業(yè)形成了一定的優(yōu)勢(shì)，但是不足之處也比較明顯。

MEMS技術(shù)基于微型化的傳感器和執(zhí)行器，通過精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)物理信號(hào)的感知和控制。這些設(shè)備能夠檢測(cè)從壓力、溫度到加速度等各種物理參數(shù)，然后將這些信息轉(zhuǎn)換成電信號(hào)進(jìn)行處理。MEMS設(shè)備的核心在于它們能夠在非常小的尺寸上實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的功能，通常尺寸僅為幾微米到幾毫米。